GB/T 5275.7-2025 气体分析 动态法制备校准用混合气体 第7部分：热式质量流量控制器

ICS7110020

CCSG.86.

中华人民共和国国家标准

GB/T52757—2025/ISO6145-72018

.:

代替GB/T52757—2014

.

气体分析动态法制备校准用混合气体

第7部分热式质量流量控制器

:

Gasanalysis—Preparationofcalibrationgasmixturesusingdynamicmethods—

Part7Thermalmass-flowcontrollers

:

ISO6145-72018IDT

(:,)

2025-10-05发布2026-05-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T52757—2025/ISO6145-72018

.:

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范围

1………………………1

规范性引用文件

2…………………………1

术语和定义

3………………1

符号

4………………………2

原理

5………………………2

主要部件

6…………………2

概述

6.1…………………2

恒流源的热式质量流量控制器

6.2……………………2

恒温控制的热式质量流量控制器

6.3…………………3

混合气体的制备

7…………………………4

试验步骤

7.1……………4

有效范围

7.2……………6

运行条件

7.3……………6

计算

8………………………6

体积分数

8.1……………6

不确定度来源

8.2………………………7

测量的不确定度

8.3……………………7

附录资料性使用预混合气体制备高稀释比的混合气体

A()…………8

体积分数的计算

A.1……………………8

体积分数的不确定度

A.2………………8

附录资料性应用提示

B()………………9

设备

B.1…………………9

操作

B.2…………………9

校准与精度

B.3…………………………9

附录资料性不确定度的计算

C()………………………10

在使用纯气的情况下φ的相对标准不确定度

C.1“”A………………10

在使用稀释混合气的情况下φ的相对标准不确定度

C.2A…………10

参考文献

……………………12

Ⅰ

GB/T52757—2025/ISO6145-72018

.:

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件是的第部分已经发布了以下部分

GB/T52757。GB/T5275:

气体分析动态法制备校准用混合气体第部分通用要求

———1:;

气体分析动态法制备校准用混合气体第部分活塞泵

———2:;

气体分析动态体积法制备校准用混合气体第部分连续注射法

———4:;

气体分析动态体积法制备校准用混合气体第部分毛细管校准器

———5:;

气体分析动态法制备校准用混合气体第部分临界流锐孔

———6:;

气体分析动态法制备校准用混合气体第部分热式质量流量控制器

———7:;

气体分析动态体积法制备校准用混合气体第部分扩散法

———8:;

气体分析动态体积法制备校准用混合气体第部分饱和法

———9:;

气体分析动态体积法制备校准用混合气体第部分渗透法

———10:;

气体分析动态体积法制备校准用混合气体第部分电化学发生法

———11:。

本文件代替气体分析动态体积法制备校准用混合气体第部分热式质

GB/T5275.7—2014《7:

量流量控制器与相比除结构调整和编辑性改动外主要技术变化如下

》,GB/T5275.7—2014,,:

更改了稀释比计算的错误见年版的

———(7.1,20146.1);

增加了体积分数计算的限制条件见

———(8.1);

增加了验证混合系统制备的校准用混合气体组成所依据的方法见

———(8.3)。

本文件等同采用气体分析动态法制备校准用混合气体第部分热式质量

ISO6145-7:2018《7:

流量控制器

》。

本文件做了下列最小限度的编辑性改动

:

更正了不确定度数字删除了不确定度数字前的符号见

———,“±”(7.1);

将附录中注中引用的更正为

———BB.16.17.1;

更正了附录中φ的表示方式及相对标准不确定度计算公式中的编辑性错误见附录中

———CA(C

的

C.2)。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由中国石油和化学工业联合会提出

。

本文件由全国气体标准化技术委员会归口

(SAC/TC206)。

本文件起草单位西南化工研究设计院有限公司中国计量科学研究院昊华气体有限公司西南分

:、、

公司中国测试技术研究院化学研究所华测检测认证集团股份有限公司河南省计量测试科学研究院

、、、、

四川凯发计量检测有限公司大连大特气体有限公司四川莱峰流体设备制造有限公司中船邯郸派

、、、()

瑞特种气体股份有限公司艾科思电子科技常州有限公司上海华爱色谱分析技术有限公司广东华

、()、、

特气体股份有限公司杭州新世纪混合气体有限公司

、。

本文件主要起草人胡树国陈雅丽胡迎蔡金李俊杰胡博马浩淼唐霞梅赖晓峰高天东

:、、、、、、、、、、

台锡冬李志昂郑力文郑择葛建兵张波李帅楠殷越玲陈艳珊沈远杰吴国忠

、、、、、、、、、、。

本文件于年首次发布为本次为第一次修订

2014GB/T5275.7—2014,。

Ⅲ

GB/T52757—2025/ISO6145-72018

.:

引言

动态法是制备校准用混合气体的一大类重要方法为此专门编制了系列标准

,ISOISO6145

已废止

(ISO6145-3)。

所有部分均等同采用系列标准由于篇幅较长分为部分

GB/T5275()ISO6145。,ISO614511,

与保持一致也对应地分为部分因已被废止第

GB/T5275ISO6145,11。ISO6145-3,GB/T52753

部分也对应地空缺所有部分规定了动态法制备校准用混合气体的通用要求并具体规

。GB/T5275(),

定了热式质量流量控制器法等种制备校准用混合气体方法的原理主要设备制备注意事项制备得

9、、、

到的校准用混合气体组分含量体积分数计算及不确定度评定等技术要求以确保制备得到的校准用

(),

混合气体的质量提高校准用混合气体的制备水平

,。

所有部分预期供经过培训且具有实践经验的专业人员使用

GB/T5275()。

由十个部分构成

GB/T5275。

第部分通用要求规定了各制备方法的基本信息及适用性动态制备系统操作注意事项

———1:。、、

动态制备系统的校准方法校准用混合气体各组分含量及其不确定度的计算验证方法等内

、、

容是其他个部分的基础目的在于为合理选择一种或多种校准用混合气体制备方法提供

,9。

基本信息并将这个部分描述的方法与国家测量标准建立联系确保所制备的混合气体组成

,9,

的计量溯源性

。

第部分活塞泵目的在于提供使用活塞泵由纯气混合气体连续制备校准用混合气体的方

———2:。、

法及所制备的校准用混合气体中各组分含量的计算方法以及不确定度评定方式

,。

第部分连续注射法目的在于提供由纯气或混合气体通过注射器向平衡气中连续注入校

———4:。

准组分从而连续制备校准用混合气体的方法及所制备的校准用混合气体中各组分含量的计

,,

算方法以及不确定度评定方式

。

第部分毛细管校准器目的在于提供使用内含单个或多个毛细管组合的设备由纯气或混

———5:。

合气体连续制备校准混合气体的方法及所制备的校准用混合气体中各组分含量的计算方法

,

以及不确定度评定方式

。

第部分临界流锐孔目的在于提供使用临界流锐孔由纯气或混合气体连续制备校准混合

———6:。

气体的方法及所制备的校准用混合气体中各组分含量的计算方法以及不确定度评定方式

,。

第部分热式质量流量控制器目的在于提供使用热式质量流量控制器由纯气或混合气体

———7:。

连续制备校准用混合气体的方法及所制备的校准用混合气体中各组分含量的计算方法以及

,

不确定度评定方式

。

第部分扩散法目的在于提供使用扩散法由纯气或混合气体连续制备校准用混合气体的

———8:。

方法及所制备的校准用混合气体中各组分含量的计算方法以及不确定度评定方式

,。

第部分饱和法目的在于提供使用饱和法由一种或多种易冷凝的气体连续制备校准用混

———9:。

合气体的方法及所制备的校准用混合气体中各组分含量的计算方法以及不确定度评定方式

,。

第部分渗透法目的在于提供使用渗透法由纯气或混合气体连续制备校准用混合气体的

———10:。

方法及所制备的校准用混合气体中各组分含量的计算方法以及不确定度评定方式

,。

第部分电化学发生法目的在于提供使用电化学法由纯气或混合气体连续制备校准用混

———11:。

合气体的方法及所制备的校准用混合气体中各组分含量的计算方法以及不确定度评定方式

,。

Ⅳ

GB/T52757—2025/ISO6145-72018

.:

气体分析动态法制备校准用混合气体

第7部分热式质量流量控制器

:

1范围

是用于制备校准用混合气体的各种动态方法的系列文件本文件描述了使用热式质

GB/T5275。

量流量控制器利用纯气或混合气连续制备校准用混合气体的方法本文件适用于组分不发生反应的

,。

混合气体即组分不与构成热式质量流量控制器或辅助设备流路的材质发生反应

,。

使用本文件给出的方法制备的校准用混合气体所能达到的最好水平如下相对测量扩展不确定度

:

由标准不确定度乘以包含因子k得到U不大于

(=2)2%。

如使用预混合气体代替纯气能制备摩尔分数低于-6的混合气体质量流量的测量不是绝对

,10。

的流量控制器需要单独校准

,。

本文件方法的优点是能连续制备大量的校准用混合气体并且只要使用适当数量的热式质量流量

,

控制器就能像制备二元混合气体一样方便地制备多组分混合气体

,。

注基于热式质量流量控制器的气体混合系统包括一些计算机处理和自动控制装置能从市场上获得

:,,。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

。

气体分析校准混合气组成的测定和校验比较法

ISO6143(Gasanalysis—Comparison

methodsfordeterminingandcheckingthecompositionofcalibrationgasmixtures)

注气体分析校准混合气组成的测定和校验比较法

:GB/T10628—2008(ISO6143:2001,IDT)

气体分析动态法制备校准用混合气体第部分通用方法

ISO6145-11:(Gasanalysis—Prepa-

rationofcalibrationgasmixturesusingdynamicmethods—Part1:Generalaspects)

注气体分析动态法制备校准用混合气体第部分通用要求

:GB/T5275.1—20241:(ISO6145-1:2019,IDT)

气体分析词汇

ISO7504(Gasanalysis—Vocabulary)

注气体分析词汇

:GB/T14850—2020(ISO7504:2015,IDT)

气体分析测定混合气体组成的基于单点和两点校准的比较法

ISO12963(Gasanalysis—Com-

parisonmethodsforthedeterminationofthecompositionofgasmixturesbasedonone-andtwo-point

calibration)

注气体分析混合气体组成的测定基于单点和两点的比较法

:GB/T45133—2025(ISO12963:2017,MOD)

气体分析纯度分析和纯度数据的处理

ISO19229(Gasanalysis—Purityanalysisandthetreat-

mentofpuritydata)

注气体分析纯度分析和纯度数据的处理

:GB/T38521—2025(ISO19229:2019,IDT)

3术语和定义

界定的术语和定义适用于本文件

ISO7504。

1