GB/Z 42625-2023 真空技术 真空计 用于分压力测量的四极质谱仪特性
GB/Z 42625-2023 Vacuum technology—Vacuum gauges—Characterization of quadrupole mass spectrometers for partial pressure measurement
基本信息
本文件不适用于配有其他类型离子源的四极质谱仪，比如化学电离型离子源、光电离型离子源或场电离型离子源，也不适用于分析测量较大质荷比（m/z）的四极质谱仪，它们主要用于检测有机材料。
根据已出版的文献可知，四极质谱仪的计量特性依赖于仪器的设置、总压力和混合气体成分，因此，对所有应用状况下的四极质谱仪进行校准是不现实的。本文件中规定的特性方法包括真空系统的连续泄漏监测、采用示踪气体的漏率测量、残余气体分析和材料放气率测试。使用者能选择适合自身需求的特性方法，其他应用情况也能参照本文件的特性方法。
已知四极质谱仪部分参数的稳定性较差，尤其是灵敏度。因此，已校准参数，当需要精度更高时，仍需反复再校准。实际工况下，只能现场校准。因此，本文件不仅描述了校准实验室或者国家计量机构能如何校准四极质谱仪，并直接溯源到国际单位制（SI），而且描述了如何能在现场检查和维护已校准参数。
根据其物理原理，四极质谱仪需要高真空环境。通过减小进气尺寸或通过特殊离子源与分流泵相结合，四极质谱仪的操作范围能扩大到更高的压力，直至大气压力。但是，本文件不适用于采用分流抽气技术的四极质谱仪。因此，本文件中四极质谱仪入口处的压力范围不超过1 Pa。
本文件未规定制造商或者经销商宜如何调整四极质谱仪的初始参数，这些初始参数主要用来提供一个准确的m/z、恒定的质量分辨本领或恒定的传输概率，这是设备的基本参数。反之，本文件默认有一个制造商提供的参数重调程序，使用者能在现场重新调整参数。该程序旨在确保四极质谱仪的特性参数均处于最优状态。
本文件旨在让使用者通过其四极质谱仪获得最佳的计量效果。调查得知，多数情
发布历史
-
2023年05月
研制信息
- 起草单位：
- 北京卫星环境工程研究所、中国航天科技集团有限公司第五研究院第五一〇研究所、上海精密计量测试研究所、重庆云海机械制造有限公司、沈阳汇真真空技术有限公司、湖南维格磁流体股份有限公司、沈阳真空技术研究所有限公司
- 起草人：
- 孙立臣、任国华、崔寓淏、周雪茜、成永军、孙雯君、赵澜、肖寅枫、翁俊、倪博、唐俊聪、王帆、言继春、王功发、王莉娜、闫荣鑫、李唯丹、郭崇武、韩琰、刘恩均、窦仁超、张子罡、李征、陈联、管保国、宋青竹、苏玉萍、王玲玲
- 出版信息：
- 页数：24页 | 字数：48 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS23.160
CCSJ78
中华人民共和国国家标准化指导性技术文件
/—//:
GBZ426252023ISOTS201752018
真空技术真空计
用于分压力测量的四极质谱仪特性
——
VacuumtechnoloVacuumauesCharacterizationof
gygg
uadruolemasssectrometersforartialressuremeasurement
qpppp
(/:,)
ISOTS201752018IDT
2023-05-23发布2023-05-23实施
国家市场监督管理总局
发布
国家标准化管理委员会
/—//:
GBZ426252023ISOTS201752018
目次
前言…………………………Ⅲ
引言…………………………Ⅳ
1范围………………………1
2规范性引用文件…………………………1
3术语和定义………………2
4符号和缩略语……………3
5不同应用状况下要求或推荐的特征参数………………4
5.1一般要求……………4
5.2QMS的一般特性……………………4
()………………………
5.3漏率测量与监测氦气泄漏4
()………………
5.4漏率监测空气泄漏5
()…………………
5.5漏率监测水泄漏5
5.6残余气体分析………………………5
5.7放气率测试…………………………6
6表征QMS的真空系统…………………6
6.1一般要求……………6
6.2用于表征的单一气体真空系统……………………6
6.3用于表征的混合气体真空系统……………………8
7表征与校准程序…………………………9
7.1一般要求……………9
7.2质量分辨率…………………………9
7.3最小可检分压力()…………10
pMDPP
最小可检浓度()………………
7.4CMDC10
7.5动态范围……………11
7.6灵敏度与干扰效应比………………11
7.7线性响应范围………………………12
7.8相对灵敏度系数……………………12
()………………
7.9图形模式裂解模式13
7.10QMS的放气率……………………13
7.11QMS的抽速………………………13
8测量不确定度……………14
8.1
定制服务
推荐标准
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