T/BEA 40005-2024 GAM500气体分析仪校准规范

主要技术内容:4  概述4.1  原理GAM500气体分析仪的工作原理是：通过进样系统将待校准气体引入质谱分析室中，质谱仪将待测气体离子化，按离子的质荷比进行分离，通过检测各离子的丰度（即质谱峰强度）可实现物质分析。4.2  构造GAM500 气体分析仪由质谱分析系统、循环取样系统、冷却系统、驱动气系统等组成。质谱分析系统主要由四极质谱计及真空系统组成，可对多种示漏介质进行分析检测；循环取样系统主要由显示单元、比较气室和循环泵等组成，可控制并显示测试过程并将收集室、比较气室的气体送入质谱分析系统进行分析；冷却系统为质谱分析系统的分子泵提供循环冷却水；驱动气系统为质谱分析系统的各气动阀门进行供气。GAM500气体分析仪原理图见图1。图1  GAM500气体分析仪原理图4.3  用途GAM500 气体分析仪可在大气环境下对充入 He、Kr 或 CF4 等不同示漏气体的多个密封系统同时进行总漏率测试。5  计量特性最小可检漏率6  校准条件6.1  环境条件a)环境温度：23℃±5℃；b)相对湿度：≤80%；c)周围无影响正常校准的电磁干扰，无剧烈振动。6.2  校准用气体纯度不低于99.9%、临界温度不高于0℃、无毒、无腐蚀性、非易燃气体。6.3  校准用设备校准所用仪器设备应经过计量技术机构校准，并在有效期内。校准用仪器设备及性能要求见表1。表1 校准用仪器设备及性能要求序号仪器设备名称技术要求1电容薄膜真空计测量范围：100kPa～100Pa，最大允许误差：±1.5%；测量范围：100～0.01Pa，最大允许误差：±2%。；2小孔流导元件测量范围：(1×10-2～1×10-8)m3/s最大允许误差：±10%7  校准项目最小可检漏率。8  校准方法8.1  校准原理GAM500气体分析仪采用气体微流量计校准，气体微流量计的气体流量采用固定流导法测量，其计算公式为：?Q  = pC                                      (1)式中：Q——标准气体微流量，Pa?m3/s；p——小孔流导元件的入口压力，Pa；C——小孔流导元件的流导值，m3/s。将气体微流量计提供的已知流量的示漏气体引入到GAM500气体分析仪中，通过比较标准流量值与其在GAM500气体分析仪上对应的示值实现校准。GAM500气体分析仪的校准原理图见图