GB/T 34504-2017 蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法

GB/T 34504-2017 Measurement method for surface metal contamination on sapphire polished substrate wafer

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基本信息

标准号

GB/T 34504-2017

标准类型

国家标准

标准状态

被代替

中国标准分类号（CCS）

H17 半金属及半导体材料分析方法

国际标准分类号（ICS）

77.040 金属材料试验

发布日期

2017-10-14

实施日期

2018-05-01

发布单位/组织

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

归口单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)

适用范围

本标准规定了蓝宝石抛光衬底片表面深度为5 nm以内的残留金属元素的全反射X光荧光光谱测试方法。本标准适用于蓝宝石抛光衬底片表面残留的、在元素周期表中11(Na)～92(U)号（除去铝和氧)，且面密度在109 atoms/cm2～1015 atoms/cm2范围内元素的定量测量。其他用途蓝宝石抛光片表面残留金属元素的测量可参照本标准执行。