GB/T 34504-2017 蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法
GB/T 34504-2017 Measurement method for surface metal contamination on sapphire polished substrate wafer
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
发布日期
2017-10-14
实施日期
2018-05-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
本标准规定了蓝宝石抛光衬底片表面深度为5 nm以内的残留金属元素的全反射X光荧光光谱测试方法。本标准适用于蓝宝石抛光衬底片表面残留的、在元素周期表中11(Na)～92(U)号（除去铝和氧)，且面密度在109 atoms/cm2～1015 atoms/cm2范围内元素的定量测量。其他用途蓝宝石抛光片表面残留金属元素的测量可参照本标准执行。
发布历史
-
2017年10月
研制信息
- 起草单位：
- 天通控股股份有限公司
- 起草人：
- 康森、宋岩岩、邵峰、沈瞿欢、於震杰
- 出版信息：
- 页数：16页 | 字数：22 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS77.040
H17
中华人民共和国国家标准
/—
GBT345042017
蓝宝石抛光衬底片表面
残留金属元素测量方法
Measurementmethodforsurfacemetalcontaminationonsahire
pp
polishedsubstratewafer
2017-10-14发布2018-05-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发布
中国国家标准化管理委员会
/—
GBT345042017
前言
本标准按照/—给出的规则起草。
GBT1.12009
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(/)与全国半导体设备和材料标准
SACTC203
化技术委员会材料分技术委员会(//)共同提出并归口。
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