T/CITS 267-2025 中频磁控溅射电源技术要求
T/CITS 267-2025
团体标准
中文(简体)
现行
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格式:PDF
基本信息
标准号
T/CITS 267-2025
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2025-02-19
实施日期
2025-02-19
发布单位/组织
-
归口单位
中国检验检测学会
适用范围
范围:本文件规定了中频磁控溅射电源的技术参数、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输和贮存。
本文件适用于中频磁控溅射电源的设计、生产、检验和使用;
主要技术内容:本文件规定了中频磁控溅射电源的技术参数、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输和贮存。本文件适用于中频磁控溅射电源的设计、生产、检验和使用
发布历史
-
2025年02月
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研制信息
- 起草单位:
- 固赢科技(深圳)有限公司、哈尔滨工业大学、成都众鑫达科技有限公司、深圳市三束镀膜技术有限公司、苏州精新汇能电源科技有限公司、中国科学院兰州化学物理研究所、通标中恒标准化技术研究院(北京)有限公司
- 起草人:
- 刘力、徐梁格、曾旭初、冯红涛、魏智博、张斌、刘岩、吴永利、汪贤峰、时俊伟、王艳杰、徐敬铭、包瑾、陈致杭
- 出版信息:
- 页数:- | 字数:- | 开本: -
内容描述
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