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T/CITS 267-2025 中频磁控溅射电源技术要求

T/CITS 267-2025

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/CITS 267-2025
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
29.200 整流器、转换器、稳压电源
发布日期
2025-02-19
实施日期
2025-02-19
发布单位/组织
-
归口单位
中国检验检测学会
适用范围
范围:本文件规定了中频磁控溅射电源的技术参数、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于中频磁控溅射电源的设计、生产、检验和使用; 主要技术内容:本文件规定了中频磁控溅射电源的技术参数、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输和贮存。本文件适用于中频磁控溅射电源的设计、生产、检验和使用

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研制信息

起草单位：
固赢科技（深圳）有限公司、哈尔滨工业大学、成都众鑫达科技有限公司、深圳市三束镀膜技术有限公司、苏州精新汇能电源科技有限公司、中国科学院兰州化学物理研究所、通标中恒标准化技术研究院（北京）有限公司
起草人：
刘力、徐梁格、曾旭初、冯红涛、魏智博、张斌、刘岩、吴永利、汪贤峰、时俊伟、王艳杰、徐敬铭、包瑾、陈致杭
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

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