T/SZBX 080-2022 相移式激光干涉仪
T/SZBX 080-2022 Phase-shifted laser interferometer
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/SZBX 080-2022
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2022-05-20
实施日期
2022-05-30
发布单位/组织
-
归口单位
苏州市标准化协会
适用范围
范围:本文件适用于利用微位移机构检验光学平面的面形偏差、平面平晶平面度、透过波前、光学均匀性的相移式激光干涉仪（以下简称仪器）;
主要技术内容:本文件规定了相移式激光干涉仪的术语和定义、型式、基本参数、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存
发布历史
-
2022年05月
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研制信息
- 起草单位：
- 本文件起草单位：苏州慧利仪器有限责任公司、德凯质量认证（上海）有限公司、苏州市质量和标准化院
- 起草人：
- 本文件主要起草人：韩森、李雪园、王全召、庄锦程
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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