GB/T 45772-2025 表面化学分析 电子能谱 X射线光电子能谱分析中X射线致材料非预期损伤的识别、评估和校正程序

ICS7104040

CCSG.04.

中华人民共和国国家标准

GB/T45772—2025/ISO185542016

:

表面化学分析电子能谱X射线光电子

能谱分析中X射线致材料非预期损伤的

识别评估和校正程序

、

Surfacechemicalanalsis—Electronsectroscoies—Proceduresforidentifin

yppyg,

estimatingandcorrectingforunintendeddegradationbyX-raysinamaterial

undergoinganalysisbyX-rayphotoelectronspectroscopy

ISO185542016IDT

(:,)

2025-06-30发布2026-01-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T45772—2025/ISO185542016

:

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范围

1………………………1

规范性引用文件

2…………………………1

术语和定义

3………………1

符号和缩略语

4……………1

样品损伤

5…………………2

损伤原因

5.1……………2

样品损伤

5.2……………2

识别和校正损伤的方法

5.3……………3

评估损伤的可能性

5.4…………………5

损伤报告

5.5……………5

最大程度减少损伤的建议程序

5.6……………………5

污染的影响

5.7…………………………6

附录资料性已报道分析中损伤的材料

A()……………7

附录资料性损伤案例

B()………………8

附录资料性污染层的校正

C()…………13

参考文献

……………………14

Ⅰ

GB/T45772—2025/ISO185542016

:

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件等同采用表面化学分析电子能谱射线光电子能谱分析中射线致

ISO18554:2016《XX

材料非预期损伤的识别评估和校正程序

、》。

本文件增加了规范性引用文件一章

“”。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由全国表面化学分析标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC608)。

本文件起草单位新疆大学清华大学大连大学南京信息工程大学南京大学中国科学院化学研

:、、、、、

究所北京师范大学中国工程物理研究院材料研究所

、、。

本文件主要起草人姚文清段建霞王舰杨立平高星星高飞孙敬方王岩华徐同广刘芬

:、、、、、、、、、、

刘浪华瑞茂吴正龙伏晓国

、、、。

Ⅲ

GB/T45772—2025/ISO185542016

:

引言

射线光电子能谱通常以软射线为激发源测量试样表面逸出的光电子和俄歇电子在

X(XPS)X,。

其最广泛使用的模式下射线通量强度低分布范围大因此该技术通常被认为是用于材料表面化

,X,。,

学分析手段中破坏性最小的技术之一然而自从其作为表面分析技术使用以来已有报告指出在检测

。,,

过程中试样表面元素组成可能会发生改变对于某些材料需要考虑检测过程中对试样表面元素组分

。,

造成的损伤并在可能的情况下对损伤进行修正[1]~[4]本文件针对上述问题提出了一种在分析

,。,XPS

中射线致材料非预期损伤的识别评估和校正的方法

X、。

Ⅳ

GB/T45772—2025/ISO185542016

:

表面化学分析电子能谱X射线光电子

能谱分析中X射线致材料非预期损伤的

识别评估和校正程序

、

1范围

本文件规定了射线光电子能谱分析中由射线辐照导致试样元素组成或化学态的非预

X(XPS),X

期性损伤的识别评估和校正方法的要求

、。

本文件仅适用于射线引起的非预期性损伤导致光电子谱峰强度的降低或增加小于本文

X,30%。

件不涉及不同类型材料之间的比较也不涉及发生损伤的机制深度或化学性质

,、。

2规范性引用文件

本文件没有规范性引用文件

。

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件

。

31

.

区域region

选择光激发用于采谱和分析的部分

。

注1可选择该区域因为它包含给定元素的主峰或次峰或表示该能量范围内背景的形状或斜率例如精细扫描

:,,,。

注2区域的这种用法不与分析区域相混淆

:。

32

.

零点timezero

射线辐照样品的起始时间

X。

4符号和缩略语

下列符号和缩略语适用于本文件

。

AZ由给定元素或化学态的退化推导出的ItZ的线性变化率

:,

C定量计算得出的污染碳原子百分数

:

D样品表面污染层的厚度

contamination:

损伤指数

DI:

E检测到的电子的动能单位为

:,eV

半高峰宽

FWHM:

IZ修正污染层形成后给定光电子峰的强度

,corrected:

IZ受污染层影响的给定光电子峰的测量强度

,measured:

IZ给定元素Z或化学态Z的未损伤光电子强度

0,:

I给定元素在测试谱图中的最终光电子强度

f,S:

1