T/ZGM 014-2023 半导体行业超纯水制备用脱气膜组件产品认证技术要求
T/ZGM 014-2023 Certification Technical Requirements for Air-stripping Module Product for Ultra-pure Water Production in Semiconductor Industry
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/ZGM 014-2023
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2023-10-11
实施日期
2023-10-18
发布单位/组织
-
归口单位
中国膜工业协会
适用范围
主要技术内容:本标准规定了半导体行业超纯水制备用脱气膜元件认证的技术要求、试验方法。本标准适用于半导体行业超纯水制备用脱气膜元件。规范了脱气膜产品的尺寸、性能、材质、洁净度要求及试验方法
发布历史
-
2022年11月
-
2023年10月
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研制信息
- 起草单位：
- 杭州科百特过滤器材有限公司、江苏中电创新环境科技有限公司、华东理工大学、北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司、江苏泷膜环境科技有限公司、江苏爱科膜高科技有限公司、黄河水利职业技术学院
- 起草人：
- 贾建东、周伟、程亮、殷梓卿、沈涓、程杨明、陈星、张宏杰、张优慰、彭美华、魏永明
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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