GB/T 14604-1993 电子工业用气体 氧

中华人民共和国国家标准

GB/'r14604一93

电子工业用气体氧

Gasesforelectronicindustry-Oxygen

飞主题内容与适用范围

本标准规定了电子工业用气体氧和散装液态氧的技术要求，检验方法，检验规则及产品的包装、标

志、运输、贮存及安全要求。

电广业「用氧主要用于二氧化硅化学气相淀积，用作氧化源和生产高纯水的反应剂，用于等离子体

蚀划和剥离。也可用于光导纤维。

分f式:0

卞!{对分子质量:31.999(1989年国际相对原子质量表)

2引用标准

‘”190危险货物包装标志

(;B3863L业用气态氧

GB4844氦气

GB5099钢质无缝气瓶

GB5832.2气体中微量水的测定露点法

GB668。液体化工产品采样通则

G136681气体化工产品采样通则

GB7144气瓶颜色标记

(:137445氢气

GB8984气体中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的测定气相色谱法

GB8991气体中微量氢的测定气相色谱法

GB/T14605氧气中微量氢、氮和氢含量的测定气相色谱法

GB/T14606气体中总烃的测定火焰离子化检测法

3技术要求

电子工业用气体氧的质量应符合下表的要求

项目】指标

超大规模集成电路级半导体及集成电路级电子级和散装液态氧

氧纯)变，川“)99.9853

"K含址.1o6(1，:59:5

袱含缺.JO’·(100

国家技术监督局1993-0s-26批准1994一07一01实施

GB/T14604一93

续表

指标

项目

超大规模集成电路级半导体及集成电路级电子级和散装液态氧

氮含量,10s蕊30100100

一氧化碳含量,10‘(1

二氧化碳含量,10-G蕊1

一氧化碳和二氧化碳含量,10-巧夏55

总烃含量(以甲烷计),10‘蕊1525

氧化亚氮含量,10”镇122

氟含撼,10蕊10

水含傲,10‘蕊222

总杂质含量(包括稀有气体),1。一‘毛14750005000

注:0)本标准不包括对颗粒的技术要求，该技术要求由供需双方商定。

②纯度及含量均以体积分数表示

4检验方法

4"1采样

4.1.1瓶装气态氧的采样应符合GB6681的规定。采样应用针形阀和金属管直接从样品瓶中采样，不

得转移

4.1.2管道输送的气体氧，采样时尽可能使用短的金属管将样品气直接送人分析仪。

4.1.3液态氧的采样应符合GB668。的规定。液态氧必须从液相取样并保证使液态氧完全气化后恢

复到常温方能进样

4.2氧气纯度的测定

4.2.1超大规模集成电路级氧纯度的测定

用扣除杂质含量的差减法，按式((1)计算氧的纯度(v/V):

9,=100一(叭+99e+乳+P4+R+91+妈+丹+"4)X10-'··……(1)

式中:91-氧的纯度，10一，;

9)-氢含量,10-1;

"k氢含量,10-`;

外—氮含量,10-s;

外—一氧化碳含量，10-`;

帆—二氧化碳含量,10-0,

叭—总烃含量,10-s,

外—氧化亚氮含量,10-s;

S0-氢含量,1。一，‘

外—水含量,10-6,

4.2.2半导体及集成电路级，电子级和散装液态级氧纯度的测定

.按GB3863中3.1规定的方法进行测定。

4.3氢含量的测定

按GB8991的规定进行测定。