GB/T 14604-2009 电子工业用气体 氧
GB/T 14604-2009 Gas for electronic industry—Oxygen
国家标准
中文简体
现行
页数：10页
|
格式：PDF
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-05-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会
适用范围
本标准规定了电子工业用氧的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于以深冷法、电解法提取的气态或液态氧，以及经纯化方法得到的氧。它们主要用于二氧化硅化学气相淀积，用作氧化源和生产高纯水的反应剂，用于等离子体蚀刻和剥离、光导纤维。
分子式：O2。
相对分子质量：31.998 8（按2005年国际相对原子质量计算）。
本标准适用于以深冷法、电解法提取的气态或液态氧，以及经纯化方法得到的氧。它们主要用于二氧化硅化学气相淀积，用作氧化源和生产高纯水的反应剂，用于等离子体蚀刻和剥离、光导纤维。
分子式：O2。
相对分子质量：31.998 8（按2005年国际相对原子质量计算）。
发布历史
-
1993年08月
-
2009年10月
研制信息
- 起草单位：
- 中国计量科学研究院、西南化工研究设计院
- 起草人：
- 周泽义、周鹏云
- 出版信息：
- 页数：10页 | 字数：17 千字 | 开本： 大16开
内容描述
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