GB/T 14600-1993 电子工业用气体 氧化亚氮

中华人民共和国国家标准

GB/T14600一93

电子工业用气体氧化亚氮

Gasesforelectronicindustry-Nitrousoxide

1主题内容与适用范围

本标准规定了电子工业用气体—瓶装氧化亚氮的技术要求、试验方法、验收规则及包装、标志、贮

存与运输要求。

本标准适用于硝酸钱热分解工艺制取的氧化亚氮。该产品主要用于电子工业中二氧化硅的化学气

相淀积、等离子工艺。

分子式:N20

相对分子质量;44.01(按1989年国际相对原子质量)

2}I用标准

GB190危险货物包装标志

GB3723工业用化学产品采样通则

GB5099钢制无缝气瓶

GB5832.1气体中微量水分的测定电解法

GB5832.2气体中微量水分的测定露点法

GB6680液体化工产品采样通则

GB7144气瓶颜色标志

GB7230气体检测管装置

GB7445氢气

GB8984气体中一氧化碳、二氧化碳、甲烷含量的测定气相色谱法

GB10624高纯氛

GB/T14606气体中总烃的测定火焰离子化检测法

3技术亲件

氧化亚氮产品的质量应符合表1要求。

表1

项目指标

氧化亚氮纯度，10-,)99.9974

氨含量110_6(5

二氧化碳含量,10-s(2

一氧化碳含量,10-0簇1

国家技术监仔局1993一as一26批准1994一07一01实施

GB/'r14600一93

续表1

项目指标

烃CG--C(以甲烷计)含量,1os蕊1

氮含量,10蕊10

氧含量10-02

一氧化氮含量.10“镇1

二氧化氮含量.10-s〔1

水含量,10-fi3

注:纯度及杂质含量均以体积分数表示。

4检验方法

4.1采样方法

采样时将样品钢瓶倒置。采取液相样品，液态样经气化后用导管与仪器直接连接。测定氧、氮、水、

二氧化碳、一氧化碳和烃采用金属管，测定氨、一氧化氮和二氧化氮采用聚四氟乙烯管作为采样导管。

4.2纯度

氧化亚氮产品的纯度，用体积分数表示，按式((1)计算:

T=100一(9,十R十仍十9}4+叽+几+仍+R+"y)X10-"····”·(1>

式中:，一氧化亚氮纯度,10-2;

仍—氨含量,10-`;

4'—二氧化碳含量,10-`;