GB/T 14600-2009 电子工业用气体 氧化亚氮
GB/T 14600-2009 Gas for electronic industry—Nitrous oxide
国家标准
中文简体
现行
页数：8页
|
格式：PDF
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-05-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会
适用范围
本标准规定了氧化亚氮的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于电子工业中化学气相淀积工艺。
分子式：N2O。
相对分子质量：44.012 8（按2005年国际相对原子质量计算）。
本标准适用于电子工业中化学气相淀积工艺。
分子式：N2O。
相对分子质量：44.012 8（按2005年国际相对原子质量计算）。
发布历史
-
1993年08月
-
2009年10月
-
2025年04月
研制信息
- 起草单位：
- 中国计量科学研究院、西南化工研究设计院、大连光明化工研究院
- 起草人：
- 周泽义、孙福楠、周鹏云
- 出版信息：
- 页数：8页 | 字数：13 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS71.100.20
G86
中华人民共和国国家标准
/—
GBT146002009
代替/—
GBT146001993
电子工业用气体氧化亚氮
—
GasforelectronicindustrNitrousoxide
y
2009-10-30发布2010-05-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发布
中国国家标准化管理委员会
／—
犌犅犜１４６００２００９
前言
本标准代替／—《电子工业用气体氧化亚氮》。
ＧＢＴ１４６００１９９３
本标准与／—相比主要变化如下：
ＧＢＴ１４６００１９９３
———修改电子工业用氧化亚氮的适用范围（／—的第章，本版的第章）；
ＧＢＴ１４６００１９９３１１
———修改规范性引用文件（／—的第章，本版的第章）；
ＧＢＴ１４６００１９９３２２
———修改技术指标内容（／—的第章，本版的第章）；
ＧＢＴ１４６００１９９
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