GB/T 45773-2025 表面化学分析 X射线光电子能谱全扫描谱的准实时信息 含碳化合物表面污染的识别和校正规则

ICS7104040

CCSG.04.

中华人民共和国国家标准

GB/T45773—2025/ISO225812021

:

表面化学分析X射线光电子能谱全扫

描谱的准实时信息含碳化合物表面

污染的识别和校正规则

Surfacechemicalanalysis—Nearreal-timeinformationfromthe

X-rayphotoelectronspectroscopysurveyscan—Rulesfor

identificationofandcorrectionforsurfacecontamination

,,

bycarbon-containingcompounds

ISO225812021IDT

(:,)

2025-06-30发布2026-01-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T45773—2025/ISO225812021

:

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范围

1………………………1

规范性引用文件

2…………………………1

术语和定义

3………………1

符号和缩略语

4……………1

样品污染

5…………………2

概述

5.1…………………2

污染来源

5.2……………2

污染识别

5.3……………2

膜厚度的评估及其影响的校正

6…………8

膜厚度

6.1………………8

基底成分的校正

6.2……………………8

附录规范性操作规则流程图

A()………………………9

参考文献

……………………12

Ⅰ

GB/T45773—2025/ISO225812021

:

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件等同采用表面化学分析射线光电子能谱全扫描谱的准实时信息含

ISO22581:2021《X

碳化合物表面污染的识别和校正规则

》。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由全国表面化学分析标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC608)。

本文件起草单位广东工业大学大连大学清华大学中国科学院化学研究所赛默飞世尔科技中

:、、、、(

国有限公司

)。

本文件主要起草人严楷王舰高星星姚文清刘芬许燕滨葛青亲

:、、、、、、。

Ⅲ

GB/T45773—2025/ISO225812021

:

引言

射线光电子能谱的基础是用软射线辐照样品表面并以光电子和俄歇电子的形式检验激发发

XX,

射在其最广泛使用的模式中射线束流密度低且辐照面积大因此该技术通常被视为用于材料表

。,X。,

面分析现有束技术中破坏性最小的技术之一该技术的使用越来越广泛使得能实现准确信息检索

“”。,

的一套规则的建立变得非常重要而本文件则有助于满足这一需求

,。

在许多情况下所需成分分析的表面上会附着一层污染膜这层膜通常是有机性质的由大气中的

,,,

分子吸附表面暴露在工作或测试环境中或由谱仪本身引起这层膜会对谱图的不同区域造成不同程

、。

度的衰减这取决于该区域中发射电子的动能因此校正和消除这种影响对基材的表面成分分析是必

,。,

要的所描述的程序能识别含碳污染物的存在估算其厚度并去除其对测定表面成分的影响因而它

。、、。

是全扫描谱的定量评估中数据规约的重要组成部分这可在一个数据系统内实现自动化同时将

XPS。,

是为一些依赖表面分析的技术提供从全扫描谱中自动检索信息手段的必要的第一步

。

所描述的全部程序仅基于以第届[9]和第届[10]国际真空科学技术与应用联合会研讨会结论

2234

中建议的方式获得的射线光电子能谱全扫描谱这些程序可在不需要能谱专家干预的情况下

X(XPS),

进行并可在自动化数据系统中得以应用

,。

Ⅳ

GB/T45773—2025/ISO225812021

:

表面化学分析X射线光电子能谱全扫

描谱的准实时信息含碳化合物表面

污染的识别和校正规则

1范围

本文件描述了对材料薄膜进行协助表面分析的方法这些薄膜不含有碳化合物作为预期成分但在

,,

全扫描谱中观察到峰这些薄膜可通过有氧或电化学氧化在金属和合金上生成也可沉积在惰性

C1s。,

基底上的所述程序不适用于在基底上颗粒的不连续沉积除此之外还提供了一个可从含碳的表面

。。,

污染物中识别信号的简单程序当峰被确定为来自于外来的覆盖层时从全谱中得出的成

C1s。C1s,

分可针对其影响进行校正建议的程序以如果则格式的简单规则结构形式所提供目的是让它们所

。“-”,

包含的信息可被数据系统中的自动化程序所利用所提供的规则仅利用从全扫描谱中检索的

。XPS()

信息

。

2规范性引用文件

本文件没有规范性引用文件

。

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件

。

31

.

区域region

选择完全可获取的光激发谱进行详细采集即窄扫描的部分

(“”)。

注选择该区域可能是因为它包含一个特定元素的主要或次要峰或代表该能量范围内本底的形状或轮廓

:,。

32

.

全扫描surveyscan

在给定射线源所激发的光电子能谱中主要部分进行扫描或一系列扫描

X。

33

.

目标goal

目标的实现是图谱解析过程的一部分

。

注例如定量分析的完成可被视为目标的实现

:,。

4符号和缩略语

下列符号和缩略语适用于本文件

。

a在峰之后的能量损失本底线性区域内在恒定强度下的最大值每秒计数

:C1s(,cps)。

b用以作为测量数值时选择作为参考的线性本底内的点与已测量值的数值位置之间

:a,“a”(eV)

的间隔该间隔预计约为的数量

(eV);30eV。

C污染层中碳的原子分数

contamination:。

1