GB/T 39157-2020 靶材技术成熟度等级划分及定义

ICS77.150.01

H00GB

中华人民共和国国家标准

GB/T39157-2020

靶材技术成熟度等级划分及定义

Classificationanddefinitionofthetechnologyreadinesslevelsfortargets

2020-11-19发布2021-10-01实施

国家市场监督管理总局申＃

国家标准化管理委员会保叩

GB/T39157-2020

前言

本标准按照GB/T1.12009给出的规则起草。

本标准由中国有色金属工业协会提出。

本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）归口。

本标准起草单位z有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院、宁波江丰电子材料股份有

限公司、贵研铅业股份有限公司。

本标准主要起草人g高岩、韩知为、熊晓东、腾海涛、赵永善、贺昕、边逸军、陈明、王传军、姚力军、

闻明、徐国进、管丽梅。

I

GB/T39157-2020

靶材技术成熟度等级划分及定义

1范围

本标准规定了靶材技术成熟度的术语和定义、等级划分和判定规则。

本标准适用于靶材技术成熟度评价。

2术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

2.1

靶树target

在溅射沉积技术中的阴极部分．该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形

式脱离阴极而在阳极表面沉积．

2.2

技术成熟度technologyreadiness

技术满足预期靶材应用目标的程度。

2.3

技术成熟度等级阳hnologyreadinesslevels

用于衡量靶材技术满足预期应用目标程度的尺度a

注E改写GB/T372642018，定义2.2.

2.4

技术参敛t四：hnicalp盯·ameter

针对某一事物在规定的检测条件下得出的相对数据。

注E一般是指设计或生产时做出的性能测试报告。

2.5

靶材样晶targetsamples

在实验室阶段，根据靶材设计要求而制备的用于测试主要性能、结构和检验工艺性能的实物，具备

了靶材的部分特性。

注2改写GB/T372642018，定义2.3.

2.6

靶材试制晶targetdevelopedproducts

在靶材工程化阶段，考虑最终形式，并在实验室环境或使用环境下，对靶材关键性能和功能进行测

试，通过小批量或小规模制备的实物。

注z改写GB/T37264-2018，定义2.4.

2.7

实验室环境laboratory田1vironments

实验室的检测和校准设施以及环境条件，用于验证技术原理和使用功能。

2.8

模拟环境simulationenvironments

模拟真实使用环境，用以验证靶材的关键性能或其主要组成部分的关键性能。

1

GB/T39157-2020

注z改写GB/T372642018，定义2.6.

2.9

使用环境realenviron