JJF 2067-2023 X射线能谱仪校准规范

中华人民共和国国家计量技术规范

JJF2067—2023

X射线能谱仪校准规范

CalibrationSpecificationforEnergy-DispersiveX-raySpectrometers

2023-10-12发布2024-04-12实施

国家市场监督管理总局发布

JJF2067—2023

目录

引言

………………………(Ⅱ)

范围

1……………………(1)

引用文件

2………………(1)

术语和计量单位

3………………………(1)

射线能谱仪

3.1X………………………(1)

谱峰半高宽

3.2………………………(1)

定量分析

3.3……………(1)

标准物质

3.4……………(1)

过压比

3.5………………(1)

死时间

3.6………………(2)

概述

4……………………(2)

计量特性

5………………(2)

能量分辨率

5.1…………(2)

元素含量测量的相对示值误差

5.2……………………(3)

元素含量测量的重复性

5.3……………(3)

校准条件

6………………(3)

环境条件

6.1……………(3)

测量标准及其他设备

6.2………………(3)

校准项目和校准方法

7…………………(4)

校准前准备

7.1…………(4)

能量分辨率

7.2…………(4)

元素含量测量的相对示值误差

7.3……………………(4)

元素含量测量的重复性

7.4……………(5)

校准结果表达

8…………(5)

复校时间间隔

9…………(5)

附录射线能谱仪元素含量测量的相对示值误差测量不确定度评定示例

AX……(6)

附录射线能谱仪校准记录格式

BX…………………(8)

附录射线能谱仪校准证书内页格式

CX()………(10)

Ⅰ

JJF2067—2023

引言

通用计量术语及定义国家计量校准规范编写规则

JJF1001《》、JJF1071—2010《》

和测量不确定度评定与表示共同构成支撑本规范制定工作的基础

JJF1059.1—2012《》

性文件本规范主要参考了微束分析能谱法定量分析

。GB/T17359—2012《》、

微束分析电子探针显微分析射线能谱仪主要性能参数及核查

GB/T20726—2015《X

方法微束分析电子探针显微分析术语

》、GB/T21636—2021《(EPMA)》、

微束分析扫描电镜能谱仪定量分析参数的测定方法等相关国

GB/T25189—2010《》

家标准内容

。

本规范为首次发布

。

Ⅱ

JJF2067—2023

X射线能谱仪校准规范

1范围

本规范适用于基于扫描电子显微镜或者电子探针的射线能谱仪的校准

X。

2引用文件

本规范引用下列文件

:

国家计量校准规范编写规则

JJF1071

微束分析电子探针显微分析射线能谱仪主要性能参数及

GB/T20726—2015X

核查方法

微束分析电子探针显微分析术语

GB/T21636—2021(EPMA)

凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本规范凡是不注日期的引用文

,;

件其最新版本包括所有的修改单适用于本规范

,()。

3术语和计量单位

和界定的及下列术语和定义适用于本规范

GB/T20726—2015GB/T21636—2021。

射线能谱仪

3.1Xenergy-dispersiveX-rayspectrometer;EDS

同时记录整个射线谱来测定射线强度作为辐射能量函数的装置

X,X。

注:射线能谱仪包括固态探测器、前置放大器和脉冲处理器。探测器将射线光子能转换为

XX

电脉冲,并经前置放大器进行信号放大。脉冲处理器根据波幅将脉冲分类并形成射线强

X

度对能量的直方图分布。

来源有修改

[:GB/T20726—2015,3.1,]

谱峰半高宽

3.2fullpeakwidthathalfmaximum;FWHM

谱峰扣除背底后强度最高值之半处的峰宽度单位为电子伏特

,(eV)。

注:最大峰强度是通过拟合相应的谱峰所有通道来测定,峰宽是在峰高一半处测量。

来源

[:GB/T21636—2021,5.6.7]

定量分析

3.3quantitativeanalysis

运用电子激发射线谱的方法在微米尺度分析体积中测定元素含量

X。

来源有修改

[:GB/T21636—2021,6.4,]

标准物质

3.4referencematerial;RM

具有足够均匀和稳定的特定性质的物质其特性被证实适用于测量中或标称特性检

,

查中的预期用途

。

来源

[:JJF1001—2011,8.14]

过压比

3.5overvoltageratio

入射束电子能量与一特定原子壳层的临界激发能量的比

。

注:过压比必须大于才能从该原子壳层产生特征射线。

1X

1

JJF2067—2023

来源

[:GB/T21636—2021,6.1.3]

死时间

3.6deadtime

计数测量系统在处理前一个光子信号时系统无法进行光子测量的时间死时间通

,。

常用总时间的百分数表示

。

来源

[:GB/T21636—2021,5.5.6]

4概述

射线能谱仪简称能谱仪是一种常见的用于分析试样化学组成以及对该

X(,EDS)

组成进行定量分析的仪器一般与扫描电子显微镜简称扫描电镜或者电子

,(,SEM)

探针简称组合使用其中组合最广泛其工作原理如下

(