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T/ICMTIA CM0038-2024 半导体硅单晶生产用高纯石英坩埚

T/ICMTIA CM0038-2024 High-purity silica crucible used for the production of semiconductor silicon single crystal

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/ICMTIA CM0038-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
29.045 半导体材料
发布日期
2024-04-25
实施日期
2024-06-01
发布单位/组织
-
归口单位
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
适用范围
主要技术内容:本文件规定了半导体硅单晶生产用高纯石英坩埚的术语和定义、规格尺寸、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存技术内容。本文件适用于半导体硅单晶生产用高纯石英坩埚

发布历史

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研制信息

起草单位：
：浙江美晶新材料股份有限公司、宁夏鑫晶新材料科技有限公司、郑州合晶硅材料有限公司、山东有研半导体材料有限公司、中环领先半导体材料有限公司
起草人：
：陶飞、周勇、吴伟华、王杨柳、陈超、方志远、王洋洋、左伟仙、毛炳全、王俊仁、崔彬
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

暂无内容

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