T/ICMTIA CM0038-2024 半导体硅单晶生产用高纯石英坩埚
T/ICMTIA CM0038-2024 High-purity silica crucible used for the production of semiconductor silicon single crystal
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/ICMTIA CM0038-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2024-04-25
实施日期
2024-06-01
发布单位/组织
-
归口单位
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
适用范围
主要技术内容:本文件规定了半导体硅单晶生产用高纯石英坩埚的术语和定义、规格尺寸、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存技术内容。本文件适用于半导体硅单晶生产用高纯石英坩埚
发布历史
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研制信息
- 起草单位：
- ：浙江美晶新材料股份有限公司、宁夏鑫晶新材料科技有限公司、郑州合晶硅材料有限公司、山东有研半导体材料有限公司、中环领先半导体材料有限公司
- 起草人：
- ：陶飞、周勇、吴伟华、王杨柳、陈超、方志远、王洋洋、左伟仙、毛炳全、王俊仁、崔彬
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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