YS/T 937-2025 镍铂靶材
YS/T 937-2025 Nickel-platinum target material
行业标准-有色金属
简体中文
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
YS/T 937-2025
标准类型
行业标准-有色金属
标准状态
现行
发布日期
2025-12-17
实施日期
2026-07-01
发布单位/组织
工业和信息化部
归口单位
-
适用范围
本文件规定了镍铂靶材的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。本文件适用于制备半导体薄膜用的各类镍铂靶材产品。
发布历史
-
2013年10月
-
2025年12月
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研制信息
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- 起草人：
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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