YS/T 937-2013 镍铂靶材
YS/T 937-2013 Nickel-platinum target
行业标准-有色金属
中文简体
废止
页数：24页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
YS/T 937-2013
标准类型
行业标准-有色金属
标准状态
废止
发布日期
2013-10-17
实施日期
2014-03-01
发布单位/组织
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位
全国有色金属标准化技术委员(SAC/TC 243)
适用范围
本标准规定了镍铂靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及合同(或订货单)内容。
本标准适用于半导体薄膜用的各类镍铂靶材。
本标准适用于半导体薄膜用的各类镍铂靶材。
发布历史
-
2013年10月
-
2025年12月
研制信息
- 起草单位：
- 有研亿金新材料股份有限公司、北京有色金属研究总院
- 起草人：
- 朱晓光、顾新福、杨永刚、向磊、何金江、郭力山、吕保国、姚力军、王学泽、李勇军、尚再艳、孙秀霖、陈彩霞、张丽、李娜、刘红宾、夏乾坤、蒋宇辉
- 出版信息：
- 页数：24页 | 字数：38 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS77.150.99
H68
中华人民共和国有色金属行业标准
/—
YST9372013
镍铂靶材
Nickel-latinumtaret
pg
2013-10-17发布2014-03-01实施
中华人民共和国工业和信息化部发布
/—
YST9372013
前言
本标准按照/—给出的规则起草。
GBT1.12009
(/)。
本标准由全国有色金属标准化技术委员SACTC243归口
:、
定制服务
推荐标准
- NB/T 11256-2023 井工煤矿采动土地损毁监测技术规程 2023-05-26
- NB/T 11260-2023 煤矸石中硅、铝、铁、钙、镁、钠、钾、磷、钛、锰含量的测定 X射线荧光光谱法 2023-05-26
- GB/Z 42692-2023 庭院凉篷 2023-05-23
- GB/Z 42773-2023 女性创业 关键定义和通用准则 2023-05-23
- GB/Z 42722-2023 工业领域电力需求侧管理实施指南 2023-05-23
- GB/Z 42759-2023 智慧城市 人工智能技术应用场景分类指南 2023-05-23
- GB/Z 42624-2023 真空技术 真空计 放气率的测试和报告程序 2023-05-23
- NB/T 11258-2023 井工煤矿机电管理通用要求 2023-05-26
- GB/Z 42540-2023 制药装备密闭性技术指南 固体制剂 2023-05-23
- GB/Z 42625-2023 真空技术 真空计 用于分压力测量的四极质谱仪特性 2023-05-23