YS/T 937-2013 镍铂靶材
YS/T 937-2013 Nickel-platinum target
行业标准-有色金属
中文简体
现行
页数：20页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
YS/T 937-2013
标准类型
行业标准-有色金属
标准状态
现行
发布日期
2013-10-17
实施日期
2014-03-01
发布单位/组织
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位
全国有色金属标准化技术委员(SAC/TC 243)
适用范围
本标准规定了镍铂靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及合同(或订货单)内容。
本标准适用于半导体薄膜用的各类镍铂靶材。
本标准适用于半导体薄膜用的各类镍铂靶材。
发布历史
-
2013年10月
-
2025年12月
研制信息
- 起草单位：
- 有研亿金新材料股份有限公司、北京有色金属研究总院
- 起草人：
- 朱晓光、顾新福、杨永刚、向磊、何金江、郭力山、吕保国、姚力军、王学泽、李勇军、尚再艳、孙秀霖、陈彩霞、张丽、李娜、刘红宾、夏乾坤、蒋宇辉
- 出版信息：
- 页数：20页 | 字数：38 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS77.150.99
H68
中华人民共和国有色金属行业标准
/—
YST9372013
镍铂靶材
Nickel-latinumtaret
pg
2013-10-17发布2014-03-01实施
中华人民共和国工业和信息化部发布
/—
YST9372013
前言
本标准按照/—给出的规则起草。
GBT1.12009
(/)。
本标准由全国有色金属标准化技术委员SACTC243归口
:、
定制服务
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