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YS/T 937-2013 镍铂靶材

YS/T 937-2013 Nickel-platinum target

行业标准-有色金属 中文简体 被代替 页数：24页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
YS/T 937-2013
标准类型
行业标准-有色金属
标准状态
被代替
中国标准分类号（CCS）
H68 贵金属及其合金
国际标准分类号（ICS）
77.150.99 其他有色金属产品
发布日期
2013-10-17
实施日期
2014-03-01
发布单位/组织
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位
全国有色金属标准化技术委员(SAC/TC 243)
适用范围
本标准规定了镍铂靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及合同(或订货单)内容。
本标准适用于半导体薄膜用的各类镍铂靶材。

发布历史

文前页预览

YS/T 937-2013 镍铂靶材-第1页
YS/T 937-2013 镍铂靶材-第2页
YS/T 937-2013 镍铂靶材-第3页

研制信息

起草单位：
有研亿金新材料股份有限公司、北京有色金属研究总院
起草人：
朱晓光、顾新福、杨永刚、向磊、何金江、郭力山、吕保国、姚力军、王学泽、李勇军、尚再艳、孙秀霖、陈彩霞、张丽、李娜、刘红宾、夏乾坤、蒋宇辉
出版信息：
页数：24页 | 字数：38 千字 | 开本： 大16开

内容描述

ICS77.150.99

H68

中华人民共和国有色金属行业标准

/—

YST9372013

镍铂靶材

Nickel-latinumtaret

pg

2013-10-17发布2014-03-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

/—

YST9372013

前言

本标准按照/—给出的规则起草。

GBT1.12009

(/)。

本标准由全国有色金属标准化技术委员SACTC243归口

:、

定制服务

    推荐标准

    关联标准

    引用标准
    GJB 1580A
    GJB 1580A
    GB/T 1031
    GB/T 1031-2009 产品几何技术规范(GPS) 表面结构 轮廓法 表面粗糙度参数及其数值
    现行
    GB/T 1031-1995 表面粗糙度 参数及其数值
    被代替
    GB/T 6394
    GB/T 6394-2017 金属平均晶粒度测定方法
    现行
    GB/T 6394-2002 金属平均晶粒度测定法
    被代替
    GB/T 14265
    GB/T 14265-2017 金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则
    现行
    GB/T 14265-1993 金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则
    被代替
    GB/T 15077
    GB/T 15077-2008 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法
    现行
    GB/T 15077-1994 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法
    被代替
    YS/T 837
    YS/T 837-2012 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
    现行

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