SJ 21257-2018 离子束溅射镀膜设备通用规范
SJ 21257-2018 General specification for ion beam film sputtering equipment
行业标准-电子
中文(简体)
现行
页数：16页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
SJ 21257-2018
标准类型
行业标准-电子
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
-
发布日期
2018-01-18
实施日期
2018-05-01
发布单位/组织
-
归口单位
工业和信息化部电子第四研究院
适用范围
本规范规定了离子束溅射镀膜设备的通用要求、质量保证规定、交货准备。
本规范适用于离子束溅射镀膜设备(以下简称设备)的设计、生产、检验和验收
发布历史
-
2018年01月
研制信息
- 起草单位：
- 中国电子科技集团公司第四十八研究所
- 起草人：
- 胡凡、陈特超、刘欣、龙长林
- 出版信息：
- 页数：16页 | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- DB21/T 3540-2021 化学试剂中氯化物的测定 浊度计法 2021-12-30
- DB23/T 3067-2021 使用领域消防产品质量监督抽查方法 2021-12-24
- DB23/T 3066-2021 极寒天气灾害事故应急救援行动指南 2021-12-24
- DB23/T 3064-2021 火灾事故延伸调查规则 2021-12-24
- DB23/T 3062-2021 “松毛虫赤眼蜂”防治冷杉梢斑螟技术规程 2021-12-24
- DB5133/T 48-2021 地理标志产品 甘孜水淘糌粑加工技术规程 2021-08-12
- DB5119/T 23-2021 人工影响天气流动作业点建设规范 2021-10-28
- DB23/T 3068-2021 消防产品使用和维护管理 2021-12-24
- DB5101/T 134-2021 进口冷链食品集中监管仓管理规范 2021-11-29
- DB23/T 3063-2021 常见忌水性危险化学品灾害事故应急处置指南 2021-12-24