SJ 21257-2018 离子束溅射镀膜设备通用规范
SJ 21257-2018 General specification for ion beam film sputtering equipment
行业标准-电子
中文(简体)
现行
页数：16页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
SJ 21257-2018
标准类型
行业标准-电子
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
-
发布日期
2018-01-18
实施日期
2018-05-01
发布单位/组织
-
归口单位
工业和信息化部电子第四研究院
适用范围
本规范规定了离子束溅射镀膜设备的通用要求、质量保证规定、交货准备。
本规范适用于离子束溅射镀膜设备(以下简称设备)的设计、生产、检验和验收
发布历史
-
2018年01月
研制信息
- 起草单位：
- 中国电子科技集团公司第四十八研究所
- 起草人：
- 胡凡、陈特超、刘欣、龙长林
- 出版信息：
- 页数：16页 | 字数：- | 开本： -
内容描述
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