SJ 21257-2018 离子束溅射镀膜设备通用规范
SJ 21257-2018 General specification for ion beam film sputtering equipment
行业标准-电子
中文(简体)
现行
页数：16页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
SJ 21257-2018
标准类型
行业标准-电子
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
-
发布日期
2018-01-18
实施日期
2018-05-01
发布单位/组织
-
归口单位
工业和信息化部电子第四研究院
适用范围
本规范规定了离子束溅射镀膜设备的通用要求、质量保证规定、交货准备。
本规范适用于离子束溅射镀膜设备(以下简称设备)的设计、生产、检验和验收
发布历史
-
2018年01月
研制信息
- 起草单位：
- 中国电子科技集团公司第四十八研究所
- 起草人：
- 胡凡、陈特超、刘欣、龙长林
- 出版信息：
- 页数：16页 | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- T/GDAQI 113-2023 家装电线电缆质量快速判定方法 2023-09-19
- T/QGCML 454-2022 矿用分腔式动力中心用组合开关装置 2022-11-04
- T/CEEIA 237-2016 大型水轮发电机组主轴锻件技术条件 2016-12-26
- T/CSEE 0035-2017 电动汽车充电设备环境适应性要求和试验方法 2018-02-28
- T/CEEIA 589-2022 3.6 kV~40.5 kV中压熔断器供货技术规范 2022-06-24
- T/QGCML 3274-2024 强散热性太阳能路灯 2024-03-07
- T/ZZB 2952-2022 家用和类似用途电坐便器用喷淋电磁阀 2022-12-08
- T/CEEIA 480-2020 YZTY系列(IP55)压缩机专用铸铜转子三相异步电动机技术条件(机座号80～200) 2020-12-01
- T/GEIA 17-2024 安全用电智能设备 2024-02-26
- T/CNESA 1005-2021 电化学储能电站协调控制器技术规范 2021-09-13