1. 当前位置：
  2. 首页 >
  3. 团体标准 >
  4. T/ICMTIA SM0027-2022

T/ICMTIA SM0027-2022 先进存储工艺用300mm p-型硅单晶抛光片

T/ICMTIA SM0027-2022 Polished p-type silicon single crystal wafers for advanced storage process

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/ICMTIA SM0027-2022
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
01.020 术语学(原则和协调配合)
发布日期
2022-05-10
实施日期
2022-05-31
发布单位/组织
-
归口单位
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
适用范围
主要技术内容:本文件规定了直径300mm、p-型、{100}晶向规格的硅抛光片的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、和质量证明书。本文件适用于先进存储工艺：DRAM、3D NAND、NOR用300mm p-型硅抛光片

发布历史

文前页预览

当前资源暂不支持预览

研制信息

起草单位：
上海新昇半导体科技有限公司、武汉新芯集成电路制造有限公司、西安奕斯伟硅片技术有限公司
起草人：
冯天、李晴云、朱伟江、黄柏喻、时寒、夏亮、张振、兰洵
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

暂无内容

定制服务

    推荐标准

    相似标准推荐

    更多>