T/ICMTIA SM0027-2022 先进存储工艺用300mmp-型硅单晶抛光片

T/ICMTIA SM0027-2022 Polished p-type silicon single crystal wafers for advanced storage process

团体标准 现行 页数:0页 | 格式:PDF

基本信息

标准号
T/ICMTIA SM0027-2022
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号(CCS)
国际标准分类号(ICS)
发布日期
-
实施日期
-
发布单位/组织
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
归口单位
-
适用范围
-

发布历史

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研制信息

起草单位:
-
起草人:
-
出版信息:
页数:- | 字数:- | 开本: 大16开开

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