T/EDASQUARE 010-2024 光源-掩模联合优化数据输入格式规范

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标准号

T/EDASQUARE 010-2024

标准类型

团体标准

标准状态

现行

中国标准分类号（CCS）

国际标准分类号（ICS）

31.200 集成电路、微电子学

发布日期

2024-09-21

实施日期

2024-09-22

发布单位/组织

归口单位

上海电子设计自动化发展促进会

适用范围

主要技术内容:本文件规范了光源-掩模联合优化数据输入格式的数据结构。本文件适用于晶圆制造领域，包括晶圆制造厂（涵盖存储和逻辑芯片制造）本身和对应的计算光刻软件支持单位。本标准应用于自28nm技术节点开始，以及后续更先进工艺的所有节点中的相关工艺层次

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起草单位：: 广东工业大学、全芯智造技术有限公司、东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司、墨研计算科学（南京）有限公司、中国科学院微电子所研究院、深圳市海思半导体有限公司

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