T/EDASQUARE 010-2024 光源-掩模联合优化数据输入格式规范
T/EDASQUARE 010-2024
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/EDASQUARE 010-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2024-09-21
实施日期
2024-09-22
发布单位/组织
-
归口单位
上海电子设计自动化发展促进会
适用范围
主要技术内容:本文件规范了光源-掩模联合优化数据输入格式的数据结构。本文件适用于晶圆制造领域，包括晶圆制造厂（涵盖存储和逻辑芯片制造）本身和对应的计算光刻软件支持单位。本标准应用于自28nm技术节点开始，以及后续更先进工艺的所有节点中的相关工艺层次
发布历史
-
2023年09月
-
2024年09月
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研制信息
- 起草单位：
- 广东工业大学、全芯智造技术有限公司、东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司、 墨研计算科学（南京）有限公司、中国科学院微电子所研究院、深圳市海思半导体有限公司
- 起草人：
- 沈逸江、孟晓东、施伟杰、沈忱、崔绍春、陈岚、陈容、董哲、张薇、林薇、 刘云举、刘娅琳、王亚丽
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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