GB/T 28632-2012 表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率测定

ICS71.040.40

G04

中华人民共和国国家标准

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GBT286322012ISO185162006

表面化学分析俄歇电子能谱和

射线光电子能谱横向分辨率测定

X

—

SurfacechemicalanalsisAuerelectronsectroscoandX-ra

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—

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(:,)

ISO185162006IDT

2012-07-31发布2013-02-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

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GBT286322012ISO185162006

目次

前言…………………………Ⅰ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

、、

3术语定义符号和缩略语………………1

4一般信息…………………2

5直边法测量横向分辨率…………………3

6栅格法测量横向分辨率…………………8

7金岛法测量横向分辨率…………………10

()

附录资料性附录带聚焦射线束斑的仪器横向分辨率测定……………

AXXPS14

()

附录资料性附录二次电子线扫描谱横向分辨率测定……………

B16

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附录资料性附录俄