T/QGCML 3970-2024 半导体车间金属粉尘智能检测分析系统
T/QGCML 3970-2024 Semiconductor workshop intelligent detection and analysis system for metal dust
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/QGCML 3970-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2024-03-28
实施日期
2024-04-11
发布单位/组织
-
归口单位
全国城市工业品贸易中心联合会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了半导体车间金属粉尘智能检测分析系统的术语和定义、基本要求、运行环境及功能、模块功能、运行测试。本文件适用于半导体车间金属粉尘智能检测分析系统的设计及应用
发布历史
-
2024年03月
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研制信息
- 起草单位：
- 凌凯电子科技（湖北）有限公司、武汉羚动设备有限公司、湖北鸿阳企业服务有限公司
- 起草人：
- 张辰铭、陈肖依、张红、李玉山、何洋
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
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