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T/IAWBS 017-2022 金刚石单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法

T/IAWBS 017-2022 The testing method for half-width of the double-crystal waviness of diamond single crystal using X-ray diffraction

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/IAWBS 017-2022
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
29.045 半导体材料
发布日期
2022-12-15
实施日期
2022-12-22
发布单位/组织
-
归口单位
中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
适用范围
范围:本文件规定了利用双晶X 射线衍射仪测试金刚石单晶片摇摆曲线半高宽的方法。 本文件适用于高温高压法、化学气相沉积法和其它方法生长制备的金刚石单晶片，对前述单晶片进行化学或机械抛光后的样品同样也适用于此方法; 主要技术内容:本标准根据金刚石单晶片的材料性能特点，并结合目前国内金刚石晶体质量检测技术的研究水平，对金刚石单晶片X射线双晶摇摆曲线的测试原理、测量精度保障、测量步骤等内容做出了规定。本标准主题章共分为11章，主要内容包括：范围、规范性引用文件、术语和定义、测试原理、测试仪器与校准、测试样品、干扰因素、测试环境、测试程序、精密度、测试报告和附录

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研制信息

起草单位：
中国科学院半导体研究所、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、 北京三平泰克科技有限责任公司、北京聚睿众邦科技有限公司、吉林大学
起草人：
冯梦阳、金鹏、郑红军、霍晓迪、屈鹏霏、闫方亮、李红东
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

暂无内容

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