T/KSZZ 041-2025 半导体无尘车间装修工程技术规范
T/KSZZ 041-2025 Semiconductor cleanroom decoration engineering technical specifications
团体标准
中文(简体)
现行
页数:0页
|
格式:PDF
基本信息
标准号
T/KSZZ 041-2025
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2025-06-10
实施日期
2025-06-16
发布单位/组织
-
归口单位
昆山市智能制造创新联盟
适用范围
主要技术内容:本文件规定了半导体无尘车间装修的基本规定、材料、施工和验收。本文件适用于半导体无尘车间(以下简称“无尘车间”)的装修工程
发布历史
-
2025年06月
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研制信息
- 起草单位:
- 昆山市弘毅志远环境工程有限公司、深圳市弘毅志远环境科技有限公司、东莞市佳境净化科技有限公司、深圳市金光华净化设备有限公司、深圳市海天源过滤器有限公司、昆山市海兴净化设备有限公司
- 起草人:
- 庞松涛、杨世俊、徐书雷、许志华、欧阳应辉、张秀东
- 出版信息:
- 页数:- | 字数:- | 开本: -
内容描述
暂无内容
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