GB/T 25495-2010 吸气剂金属释放特性测试方法
GB/T 25495-2010 Test methods for metal releasing characteristics of getters
国家标准
中文简体
现行
页数：10页
|
格式：PDF
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2010-12-01
实施日期
2011-05-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
适用范围
本标准规定了吸气剂金属释放特性测试方法，如释汞吸气剂的总释汞量、标准释汞量、释汞特性曲线及热稳定性的测试方法、蒸散型钡吸气剂得钡量的测试方法、掺氮吸气剂钡膜分布测试方法。
本标准适用于真空器件用吸气剂。
本标准适用于真空器件用吸气剂。
发布历史
-
2010年12月
研制信息
- 起草单位：
- 南京华东赛斯真空材料有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究所、中国电子科技集团公司第十二研究所
- 起草人：
- 薛函迎、郭卫斌、张巨先、刘筠
- 出版信息：
- 页数：10页 | 字数：18 千字 | 开本： 大16开
内容描述
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