T/ZZB 0639-2018 氧化锌铝磁控溅射靶材

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标准号

T/ZZB 0639-2018

标准类型

团体标准

标准状态

现行

中国标准分类号（CCS）

H72 粉末冶金材料与制品

国际标准分类号（ICS）

81.060.30 高级陶瓷

发布日期

2018-10-19

实施日期

2018-11-01

发布单位/组织

归口单位

浙江省质量协会

适用范围

主要技术内容:本标准规定了氧化锌铝磁控溅射靶材的术语和定义、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存、质量承诺等。本标准适用于粉末冶金生产的用于磁控溅射沉积节能Low-E玻璃的功能介质层以及薄膜太阳能电池透明电极层等膜层的氧化锌铝磁控溅射靶材

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起草单位：: 本标准由宁波市标准化研究院牵头组织制定。本标准主要起草单位：宁波森利电子材料有限公司。本标准参与起草单位：宁波市标准化研究院、中国科学院宁波材料技术与工程研究所、国标（北京）认证有限公司、汉能装备科技集团有限公司、北京安泰六九新材料科技有限公司、世泰科特种材料（太仓）有限公司（排名不分先后）

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