T/ACCEM 815-2026 氮化镓新型气相外延（MOCVD）工艺尾气设备
T/ACCEM 815-2026 Exhaust equipment for the novel GaN gas-phase epitaxy (MOCVD) process
团体标准
中文(简体)
即将实施
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/ACCEM 815-2026
标准类型
团体标准
标准状态
即将实施
发布日期
2026-01-15
实施日期
2026-02-14
发布单位/组织
-
归口单位
中国商业企业管理协会
适用范围
本文件规定了氮化镓新型气相外延（MOCVD）工艺尾气设备的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本文件适用于氮化镓新型气相外延（MOCVD）工艺尾气处理设备的生产和检验
发布历史
-
2026年01月
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研制信息
- 起草单位：
- 常州诚鉺正环保技术有限公司、深圳市利微成科技有限公司、杭州明日软包装有限公司、恩希爱（杭州）薄膜有限公司、常州苏信节能环保技术服务有限公司、河北立亚包装科技有限公司、金广恒环保技术（南京）股份有限公司、纵坐标（杭州）标准技术服务有限公司
- 起草人：
- 陈逵、莫薇、成丽秋、莫敏、戴东英、杨晓举、蒋建清、何宝明、孙灿忠、苏长青、徐佩佳、阙广婷、吴欣怡、杨超、申峰、于培勇、黄钟鸣
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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