GB/T 37959-2019 含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型

ICS35.240.50

J07GB

中华人民共和国国家标准

GB/T37959—2019

含工艺腔室类集成电路装备

设计信息模型

InformationmodelforcontainingprocesschamberICequipmentdesign

2019-08-30发布2020-03-01实施

国家市场监督管理总局

发布

中国国家标谁化管理委员会

GB/T37959一2019

目次

月U百I

1范围1

2术语和定义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．

3缩略语2

4型系2

模体

4…2

1.含工艺腔室类集成电路装备建模仿真设计过程的一般规定…………………

42.含工艺腔室类集成电路装备建模仿真设计软件平台结构体系…………………3

5含工艺腔室类集成电路装备建模仿真设计信息模型…………………4

5.1概念模型4

5.2要素4

5.3关系5

5.4信息模型元素5

附录A(资料性附录）含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型示例………………13

GB/T37959—2019

前言

本标准按照GB/T1.12009给出的规则起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。

本标准由中国机械工业联合会提出

本标准由全国自动化系统与集成标准化技术委员会(SAC/TC159)归口。

本标准起草单位：中车信息技术有限公司、清华大学、北京机械工业自动化研究所有限公司、中国石

油规划总院。

本标准主要起草人：顾明、程嘉、李丽、季林红、陈莉、曹自立、张颖、黎晓东、王海丹、王峰。

l

GB/T37959—2019

含工艺腔室类集成电路装备

设计信息模型

1范围

本标准规定了含工艺腔室类集成电路装备建模仿真设计软件平台信息模型，规定了搭建含工艺腔

室类集成电路装备建模仿真设计软件平台的一般性要求。

本标准适用于含工艺腔室类集成电路装备的建模仿真设计软件。

2术语和定义

下列术语和定义适用千本文件。

2.1

建模modeling

使用CAD软件为被设计对象建立用千仿真的几何模型。

2.2

仿真simulation

利用计算机虚拟模型复现实际系统中发生的本质过程，并通过对系统虚拟模型的实验来研究存在

的或设计中的系统。

2.3

仿真流程模板simulationprocesstemplate

用于描述定制化的仿真流程信息的一种XML文件，保存了一个仿真流程的完整逻辑关系。

注：包含软件模块、求解逻辑顺序和上下游传输的变抵信息。

2.4

参数parameters

仿真设计过程中对结果有较显著影响的、可调节的关键设定值。

2.5

实验设计designofexperiment

一种有计划的研究，对过程要素进行一系列有意图的改变，并进行效果观测，对结果进行统计分析

以便确定效果与要素改变之间的关系，从而更好地了解和控制这一过程。

2.6

优化设计optimaldesign

以数学中的最优化理论为基础，以计算机为手段，根据设计所追求的性能目标，建立目标函数，在满

足给定的