GB/T 34326-2017 表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度测量方法

ICS71.040.40

G04

中华人民共和国国家标准

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GBT343262017ISO165312013

表面化学分析深度剖析和

AES

XPS深度剖析时离子束对准方法及其

束流或束流密度测量方法

——

SurfacechemicalanalsisDethrofilinMethodsforionbeam

yppg

alinmentandtheassociatedmeasurementofcurrentorcurrentdensit

gy

fordethrofilininAESandXPS

ppg

(:,)

ISO165312013IDT

2017-09-29发布2018-08-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

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GBT343262017ISO165312013

目次

前言…………………………Ⅲ

引言…………………………Ⅳ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

、、………………

3术语定义符号和缩略语1

4系统要求…………………2

5离子束对准方法…………………………3

6何时进行离子束对准及其检查…………10

()……………

附录资料性附录离子束对准优劣情况下深度剖析谱图对比

AAES11

()……………

附录资料性附录使用同轴电极杯对准

B12

参考文献……………………13

Ⅰ

/—//:

GBT343262017ISO165312013

前言

本标准按照/—给出的规则起草。

GBT1.12009

本标准使用翻译法等同采用:《表面化学