GB/T 34326-2017 表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度测量方法
GB/T 34326-2017 Surface chemical analysis—Depth profiling—Methods for ion beam alignment and the associated measurement of current or current density for depth profiling in AES and XPS
国家标准
中文简体
现行
页数：17页
|
格式：PDF
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2017-09-29
实施日期
2018-08-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
适用范围
本标准规定了在俄歇电子能谱（AES）和X射线光电子能谱（XPS）中使用惰性气体离子以保证溅射深度剖析具有好的深度分辨率以及最佳表面清洁效果而采取的离子束对准方法。这些方法分为两类：一类通过法拉第杯测量离子束流，另一类通过成像方法。法拉第杯方法也规定了离子束束流密度和束流分布的测量。这些方法不包括深度分辨率的优化。这些方法均适用于束斑直径小于1 mm的离子枪。
发布历史
-
2017年09月
研制信息
- 起草单位：
- 中国计量科学研究院
- 起草人：
- 王海、王梅玲、张艾蕊、宋小平
- 出版信息：
- 页数：17页 | 字数：30 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS71.040.40
G04
中华人民共和国国家标准
/—/:
GBT343262017ISO165312013
表面化学分析深度剖析和
AES
XPS深度剖析时离子束对准方法及其
束流或束流密度测量方法
——
SurfacechemicalanalsisDethrofilinMethodsforionbeam
yppg
alinmentandtheassociatedmeasurementofcurrentorcurrentdensit
gy
fordethrofilininAESandXPS
ppg
(:,)
ISO165312013IDT
2017-09-29发布2018-08-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发布
中国国家标准化管理委员会
/—//:
GBT343262017ISO165312013
目次
前言…………………………Ⅲ
引言…………………………Ⅳ
1范围………………………1
2规范性引用文件…………………………1
、、………………
3术语定义符号和缩略语1
4系统要求…………………2
5离子束对准方法…………………………3
6何时进行离子束对准及其检查…………10
()……………
附录资料性附录离子束对准优劣情况下深度剖析谱图对比
AAES11
()……………
附录资料性附录使用同轴电极杯对准
B12
参考文献……………………13
Ⅰ
/—//:
GBT343262017ISO165312013
前言
本标准按照/—给出的规则起草。
GBT1.12009
本标准使用翻译法等同采用:《表面化学
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