GB/T 31058-2014 电子工业用气体 四氟化硅
GB/T 31058-2014 Gases for electronic industry—Silicon tetrafluoride
基本信息
发布历史
-
2014年12月
研制信息
- 起草单位：
- 核工业理化工程研究院华核新技术开发公司、佛山市华特气体有限公司、绿菱电子材料(天津)有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、贵州大学、西南化工研究设计院有限公司
- 起草人：
- 邓建平、李于教、傅铸红、汤有伦、崔学文、方华、唐安江、周鹏云
- 出版信息：
- 页数：6页 | 字数：11 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS71.100.20
G86OB
中华人民共和国国彖标准
GB/T31058—2014
电子工业用气体四氟化硅
Gasesforelectronicindustry—Silicontetrafluoride
2014-12-22发布2015-07-01实施
GB/T31058—2014
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本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本标准起草单位：核工业理化工程研究院华核新技术开发公司、佛山市华特气体有限公司、绿菱电
子材料(天津)有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、贵州大学、西南化T研究设计院有限公司。
本标准主要起草人:邓建平、李于教、傅铸红、汤有伦、崔学文、方华、唐安江、周鹏云。
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GB/T31058—2014
电子工业用气体四氟化硅
1范围
本标准规定了四氟化硅的技术要求、试验方法、标志、包装、运输和贮存等内容。
本标准适用于萤石硫酸法、六氟硅酸盐热分解法、单质硅直接氟化法制备的四氟化硅。它主要用作
电子丁业中等离子蚀刻、发光二极管P形掺杂、离子注入工艺、外延沉积扩散的硅源和光导纤维用高纯
石英玻璃的原料，也是生产多晶硅的重要原料。
分子式:SiF4。
相对分子质量：104.0786128（按2009年国际原子相对质量）。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB190危险货物包装标志
GB/T3723丁业用化学产品采样安全通则
GB5099钢质无缝气瓶
GB7144气瓶颜色标志
GB14194永久气体充装规定
GB15258化学品安全标签编写规定
GB16804气瓶警示标签
GB/T26571特种气体储存期规范
GB/T28726—2012气体分析氮离子化气相色谱法
GB/T28727气体分析硫化物的测定火焰光度气相色谱法
气瓶安全监察规程（2000版）
危险化学品安全管理条例（2002版）
持种设备安全监察条例（2009版）
3技术要求
四氟化硅的技术要求应符合表1的要求。
表1技术指标
项目指标
四氟化硅纯度（体积分数）/10-'99.9999.999
氢（HQ含量（体积分数）/1（厂”<
定制服务
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