GB/T 31058-2014 电子工业用气体 四氟化硅

ICS71.100.20

G86OB

中华人民共和国国彖标准

GB/T31058—2014

电子工业用气体四氟化硅

Gasesforelectronicindustry—Silicontetrafluoride

2014-12-22发布2015-07-01实施

GB/T31058—2014

■ir■■i

刖吕

本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。

本标准起草单位：核工业理化工程研究院华核新技术开发公司、佛山市华特气体有限公司、绿菱电

子材料(天津)有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、贵州大学、西南化T研究设计院有限公司。

本标准主要起草人:邓建平、李于教、傅铸红、汤有伦、崔学文、方华、唐安江、周鹏云。

T

GB/T31058—2014

电子工业用气体四氟化硅

1范围

本标准规定了四氟化硅的技术要求、试验方法、标志、包装、运输和贮存等内容。

本标准适用于萤石硫酸法、六氟硅酸盐热分解法、单质硅直接氟化法制备的四氟化硅。它主要用作

电子丁业中等离子蚀刻、发光二极管P形掺杂、离子注入工艺、外延沉积扩散的硅源和光导纤维用高纯

石英玻璃的原料，也是生产多晶硅的重要原料。

分子式:SiF4。

相对分子质量：104.0786128（按2009年国际原子相对质量）。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文

件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB190危险货物包装标志

GB/T3723丁业用化学产品采样安全通则

GB5099钢质无缝气瓶

GB7144气瓶颜色标志

GB14194永久气体充装规定

GB15258化学品安全标签编写规定

GB16804气瓶警示标签

GB/T26571特种气体储存期规范

GB/T28726—2012气体分析氮离子化气相色谱法

GB/T28727气体分析硫化物的测定火焰光度气相色谱法

气瓶安全监察规程（2000版）

危险化学品安全管理条例（2002版）

持种设备安全监察条例（2009版）

3技术要求

四氟化硅的技术要求应符合表1的要求。

表1技术指标

项目指标

四氟化硅纯度（体积分数）/10-'99.9999.999

氢（HQ含量（体积分数）/1（厂”<