GB/T 45769-2025 表面化学分析 X射线光电子能谱 均匀材料中元素检测限的评估和报告

ICS7104040

CCSG.04.

中华人民共和国国家标准

GB/T45769—2025/ISO196682017

:

表面化学分析X射线光电子能谱均匀

材料中元素检测限的评估和报告

Surfacechemicalanalysis—X-rayphotoelectron

spectroscopy—Estimatingandreportingdetectionlimitsforelements

inhomogeneousmaterials

ISO196682017IDT

(:,)

2025-06-30发布2026-01-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T45769—2025/ISO196682017

:

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范围

1………………………1

规范性引用文件

2…………………………1

术语和定义

3………………1

符号和缩略语

4……………1

由数据计算和报告检测限

5XPS…………3

概述

5.1…………………3

需要的数据

5.2…………………………5

测量

5.3XPS……………5

本底噪声计算

5.4………………………6

元素检测限的计算

5.5…………………7

报告元素检测限

5.6……………………8

附录资料性与检测限相关的不确定度

A()XPS………9

附录资料性检测限的定义

B()XPS……………………12

附录资料性示例

C()……………………13

附录资料性检测限转换

D()……………17

参考文献

……………………19

Ⅰ

GB/T45769—2025/ISO196682017

:

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件等同采用表面化学分析射线光电子能谱均匀材料中元素检测限的

ISO19668:2017《X

评估和报告

》。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由全国表面化学分析标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC608)。

本文件起草单位中石化石油化工科学研究院有限公司中国科学院化学研究所季华实验室

:、、、

河北工程大学中国计量科学研究院北京师范大学

、、。

本文件主要起草人邱丽美赵志娟范燕武春霞侯俊先王海吴正龙章小余忻睦迪刘芬

:、、、、、、、、、。

Ⅲ

GB/T45769—2025/ISO196682017

:

引言

射线光电子能谱是一种广泛应用于材料表面组成测量的技术在许多应用中它被用来确认某

X。,

种元素在表面的存在与否无论哪种情况获知在测量条件下该元素能检测到的最低浓度都很重要因

。,,

为这可以提供结果的置信区间或理解怎样改变测量条件以达到需要的检测限

,。

本文件提供了一种方法可以在常规分析条件下根据实验数据直接计算检测限提供了检测

,XPS;

限的不确定度评估方法见附录描述了检测限的定义见附录示例数据和计算在附录

(A),XPS(B)。C

中展示附录包含可用的转换和文献描述了如何仅依赖参考样品例如清洁银片的数据评估射

。D,()X

线光电子能谱仪的检测限

。

检测限的计算方法至关重要技术常用于检测材料表面低浓度元素含量当未检测到元素

。XPS,

时检测限能提供测量结论的可信度此外如果需要达到一个特定的检测限分析人员可依此计算达

,。,,

到指定检测限所需的采集时间

。

Ⅳ

GB/T45769—2025/ISO196682017

:

表面化学分析X射线光电子能谱均匀

材料中元素检测限的评估和报告

1范围

本文件描述了在常规分析条件下从特定样品获得的射线光电子能谱数据中评估元素检

X(XPS)

测限并给出报告的程序本文件适用于均匀材料对信息深度内元素深度分布不均匀的材料不

。,XPS

适用

。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

。

表面化学分析词汇第部分通用术语及谱学中的术语

ISO18115-11:(Surfacechemicalanal-

ysis—Vocabulary—Part1:Generaltermsandtermsusedinspectroscopy)

注表面化学分析词汇第部分通用术语及谱学术语

:GB/T22461.1—20231:(ISO18115-1:2013,IDT)

表面化学分析词汇第部分扫描探针显微镜中的术语

ISO18115-22:(Surfacechemicalanal-

ysis—Vocabulary—Part2:Termsusedinscanning-probemicroscopy)

注表面化学分析词汇第部分扫描探针显微术术语

:GB/T22461.2—20232:(ISO18115-2:2013,MOD)

3术语和定义

和界定的以及下列术语和定义适用于本文件

ISO18115-1ISO18115-2。

31

.

参考元素referenceelement

样品中存在的化学元素其峰面积和相对含量可检测

,。

32

.

指定元素specifiedelement

即将进行检测限计算的化学元素

。

4符号和缩略语

下列符号和缩略语适用于本文件

。

Ai元素i的光电子峰积分强度单位为或

:,countscps(summedintensityofthephotoelectronline

i

ofelement,countsorcps)

A峰积分强度检测的临界值单位为或

C:,countscps(criticallevelofdetectionforapeakin

summedintensity,countsorcps)

A在要求的置信区间内可检测到的积分强度的最小值

D:(minimaldetectablesummedintensityfor

apeakattherequiredlevelofconfidence)

1