T/CCGA 90004-2023 泛半导体用尾气处理设备分解移除效率的测试方法
T/CCGA 90004-2023 Test method for efficiency of decomposition removal of exhaust gas treatment equipment used in pan-semiconductor industry
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/CCGA 90004-2023
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2023-12-18
实施日期
2024-01-18
发布单位/组织
-
归口单位
中国工业气体工业协会
适用范围
范围:本文件规定了泛半导体用尾气处理设备分解移除效率的测试方法。
本文件适用于使用傅里叶变换红外光谱仪和便携式气体检测仪评估尾气处理设备的分解移除效率。其它
仪器可参考执行;
主要技术内容:本文件适用于使用傅里叶变换红外光谱仪和便携式气体检测仪评估尾气处理设备的分解移除效率。其它仪器可参考执行
发布历史
-
2023年12月
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研制信息
- 起草单位：
- 埃地沃兹贸易（上海）有限公司、上海市计量测试技术研究院、台积电（中国）有限公司、中国电子气体生产与利用百人会
- 起草人：
- 朱文心、熊艳玲、刘翔宇、高艳秋、魏王慧、夏威偉
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
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