T/NXCL 30-2024 300 mm低氧含量直拉硅单晶

T/NXCL 30-2024 300 mm low oxygen content monocrystalline silicon single crystal

团体标准 中文(简体) 现行 页数:0页 | 格式:PDF

基本信息

标准号
T/NXCL 30-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号(CCS)
-
国际标准分类号(ICS)
发布日期
2024-02-06
实施日期
2024-02-06
发布单位/组织
-
归口单位
宁夏材料研究学会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了300 mm低氧含量直拉硅单晶的技术要求、试验方法、检验规格以及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和质量承诺等方面的内容。本文件适用于以电子级多晶硅为主要原材料,采用直拉法制备的直径为300 mm 的低氧含量硅单晶。产品主要用于绝缘栅双极晶体管(IGBT)等功率器件的衬底

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研制信息

起草单位:
宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司、北方民族大学、杭州中欣晶圆半导体股份有限公司、厦门大学、宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司、宁夏高创特能源科技有限公司
起草人:
芮阳、商润龙、王黎光、杨少林、陈亚、赵泽慧、白圆、马成、曹启刚、王忠保、熊欢、李聪、王云峰、李长苏、顾燕滨、盛之林、黄柳青、盛旺
出版信息:
页数:- | 字数:- | 开本: -

内容描述

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