GB/T 43793.1-2024 平板显示用彩色光刻胶测试方法 第1部分：理化性能

ICS31.030

CCSL90

中华人民共和国国家标准

/—

GBT43793.12024

平板显示用彩色光刻胶测试方法

:

第部分理化性能

1

Testmethodsofcolorhotoresistforflataneldisla—

pppy

:

Part1Phsicalandchemicalroerties

ypp

2024-03-15发布2024-10-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—

GBT43793.12024

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

/《》。/

本文件是平板显示用彩色光刻胶测试方法的第部分已经发布了

GBT437931GBT43793

以下部分:

———:;

第部分理化性能

1

———:;

第部分光学性能

2

———:。

第部分可靠性

3

。。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(/)提出并归口。

SACTC203

:、、、

本文件起草单位合肥鼎材科技有限公司北京鼎材科技有限公司阜阳欣奕华材料科技有限公司

、、、

固安鼎材科技有限公司广州赛西标准检测研究院有限公司中国电子技术标准化研究院先微康新材

、、、

料科技有限公司江阴润玛电子材料股份有限公司天津久日半导体材料有限公司万思得新材料科技

()。

中山有限公司

:、、、、、、、、、、、

本文件主要起草人桑伟刘永祥孙涛任雪艳黄瑜李琳赵明黄常刚赵俊莎吴怡然曹可慰

、、、、、、。

马瑞石正贤戈士勇戈烨铭何珂贺峥杰饶圣红

Ⅰ

/—

GBT43793.12024

引言

(),(),

彩色滤光片是平板显示器FPD尤其是液晶显示器LCD中最核心的部件之一主要作用是将白

、、,、、

色杂背光分离提纯为符合色度要求的红绿蓝三种纯色原色光LCD的色域亮度对比度和饱和度均

。,

受彩色滤光片的控制彩色滤光片的制备通常是将彩色光刻胶涂于玻璃基板上成膜经紫外光光刻从

而形成图案。

、、、、、、

固含量黏度留膜率色度辉度和对比度耐化学性能耐溶剂冲击性能和显影液中溶解性能是彩

,、、、、

色光刻胶材料的重要指标这些指标会影响彩色光刻胶的流动性成膜性质量寿命彩色滤光片制备

,。。

工艺甚至运输和制造成本因此有必要确立彩色光刻胶性能测试方法

/,。

GBT43793旨在给出彩色光刻胶各项性能测试方法拟由三个部分构成

———:。。

第部分理化性能目的是给出并提供彩色光刻胶理化性能的测试方法

1

———:。。

第部分光学性能目的是给出并提供彩色光刻胶光学性能的测试方法

2

———:。。

第部分可靠性目的是给出并提供彩色光刻胶可靠性的测试方法

3

Ⅱ

/—

GBT43793.12024

平板显示用彩色光刻胶测试方法

:

第部分理化性能

1

1范围

、。

本文件描述了平板显示用彩色光刻胶理化性能中固含量黏度和后烘残膜率三项指标的测试方法

、。

本文件适用于平板显示用彩色光刻胶的制造质量控制以及研发工作

2规范性引用文件

。,

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

,;,()

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

本文件。

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JJG1002旋转黏度计

JJG1036电子天平

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

固含量solidcontent

,。

在规定条件下烘干后测试样品剩余部分占烘干前总量的质量百分数

3.2

后烘残膜率ostbakeresidualfilmratio

p

,。

彩色光刻胶在高温后烘工艺阶段造成的后烘后与后烘前膜厚度变化比率

3.3

前烘softbake

,,()(

彩色滤光片制作过程中在涂胶工艺结束后通过短时间100s左右的低温加热方式100℃左

),。

右将彩色光刻胶中大部分溶剂脱除以便彩膜进入曝光工艺段的工艺过程

3.4

后烘ostbake

p

,()()

曝光工艺段之后通过较长时间20min左右的高温加热方式230℃左右使彩色光刻胶中未完

,。

全参与光聚合的不饱和键在高温下充分聚合并形成具有一定硬度的彩色滤光片的工艺过程

:。

注又称高温坚膜工艺

1