JJF 1917-2021 显微标尺校准规范

中华人民共和国国家计量技术规范

JJF1917—2021

显微标尺校准规范

CalibrationSpecificationforMicropatternStandards

2021-07-28发布2022-01-28实施

国家市场监督管理总局发布

JJF1917—2021

目录

引言

………………………(Ⅱ)

范围

1……………………(1)

概述

2……………………(1)

计量特性

3………………(2)

线纹间距

3.1……………(2)

网格间距

3.2……………(2)

角度

3.3…………………(2)

直径

3.4…………………(2)

校准条件

4………………(2)

环境条件

4.1……………(2)

校准用标准装置

4.2……………………(3)

校准项目和校准方法

5…………………(3)

校准的一般规则

5.1……………………(3)

线纹间距

5.2……………(3)

网格间距

5.3……………(4)

角度

5.4…………………(4)

直径

5.5…………………(4)

校准结果的处理

6………………………(4)

复校时间间隔

7…………(5)

附录显微标尺线纹间距的测量不确定度评定示例一

A()………(6)

附录显微标尺线纹间距的测量不确定度评定示例二

B()………(8)

附录标准证书内容

C…………………(10)

Ⅰ

JJF1917—2021

显微标尺校准规范

1范围

本规范适用于刻线宽度为及以上一维或二维显微标尺的校准

0.3μm。

2概述

显微标尺是用于校准生物显微镜金相显微镜读数显微镜等光学显微仪器及其配

、、

套软件示值和放大率等技术参数的一维或二维标准器也指此类仪器用于观察测量显微

,

图像的目镜标尺显微标尺包含点线圆矩形十字等一种或多种几何图案图案

。、、、、,

包含有宽度间距直径面积和角度等量值信息显微标尺通常以透明玻璃或金属为

、、、。

基底依据制造方式分为刻槽光复印和刻蚀工艺制造依据图案呈现方式分为透

;,、;,

射或反射类型依据用途分为镜台测微尺目镜测微尺等

;,、。

镜台测微尺是包含多种几何图案的载玻片通常的镜台测微尺中央有长

。

的测微尺分划间隔线用于校准显微镜的示值误差

(1~2)mm,(100~600)/mm。、

分辨力放大率目镜分划准确性及显微测量软件准确性

、、。

目镜测微尺是中央有线纹十字栅格圆等图案的圆形玻片安装在显微镜目镜

、、、,

物体成像面用于测量或标定显微图像的尺寸

,。

典型的显微标尺的几何图案如图所示

1。

组合式测微尺

(a)

图显微标尺示意图

1

1

JJF1917—2021

线纹测微尺十字线纹测微尺

(b)(c)

综合测微尺网格测微尺

(d)(e)

图续

1()

3计量特性

线纹间距

3.1

网格间距

3.2

角度

3.3

直径

3.4

其他认为需要校准的或客户指定的计量特性

。

4校准条件

环境条件

4.1

校准温度的最低要求可根据其对测量不确定度的影响而定在标尺范围较大最大

,、

2

JJF1917—2021

允许示值误差要求较高时尤其应注意

。

校准用标准装置

4.2

人工采集方式万能工具显微镜或万能工具显微镜与激光干涉仪组合

a):;

数字采集方式数显万能工具显微镜影像测量仪或数显万能工具显微镜影

b):、、

像测量仪与激光干涉仪组合或激光干涉二维测量装置激光干涉比长仪装置等

、。

依据标尺线纹宽度选用合适的标准器物镜一般要求在视野范围内线纹放大后

,。,

成像具有足够宽度以利于瞄准或采集采用光电显微镜瞄准时狭缝宽度应与刻线像的

。,

宽度相适应推荐校准用标准装置见表也可使用其他符合测量不确定度要求的

。1,

仪器

。

注:物镜放大倍率较小、照明不当以及线纹宽度、线纹质量将带来显著测量不确定度影响。

表1校准用标准装置及物镜放大倍率推荐表