GB/T 32281-2015 太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定 二次离子质谱法
GB/T 32281-2015 Test method for measuring oxygen,carbon,boron and phosphorus in solar silicon wafers and feedstock—Secondary ion mass spectrometry
国家标准
中文简体
现行
页数：8页
|
格式：PDF
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2015-12-10
实施日期
2017-01-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
-
发布历史
-
2015年12月
研制信息
- 起草单位：
- 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司、北京合能阳光新能源技术有限公司、中铝宁夏能源集团有限公司、宁夏银星多晶硅有限责任公司、洛阳鸿泰半导体有限公司、新特能源股份有限公司
- 起草人：
- 薛抗美、夏根平、肖宗杰、盛之林、范占军、蒋建国、林清香、徐自亮、王泽林、宋高杰、刘国霞
- 出版信息：
- 页数：8页 | 字数：14 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS77.040.30
H17
中华人民共和国国家标准
/—
GBT322812015
、、
太阳能级硅片和硅料中氧碳硼和
磷量的测定二次离子质谱法
,,
Testmethodformeasurinoxencarbonboronandhoshorusinsolar
gygpp
—
siliconwafersandfeedstockSecondarionmasssectrometr
ypy
2015-12-10发布2017-01-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发布
中国国家标准化管理委员会
/—
GBT322812015
前言
本标准按照/—给出的规则起草。
GBT1.12009
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(/)与全国半导体设备和材料标准
SACTC203
化技术委员会材料分会(//)共同提出并归口。
SACTC203SC2
:、、
本标准起草单位江苏协鑫硅材料科技发展有限公司北京合能阳光新能源技术有限公司中铝宁
、、、
夏能源集团有限公司宁夏银星多晶硅有限责任公司洛阳鸿泰半导体有限公司新特能源股份有限
公司。
:、、、、、、
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