GB/T 32281-2015 太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定 二次离子质谱法

ICS77.040.30

H17

中华人民共和国国家标准

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GBT322812015

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太阳能级硅片和硅料中氧碳硼和

磷量的测定二次离子质谱法

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Testmethodformeasurinoxencarbonboronandhoshorusinsolar

gygpp

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siliconwafersandfeedstockSecondarionmasssectrometr

ypy

2015-12-10发布2017-01-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

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GBT322812015

前言

本标准按照/—给出的规则起草。

GBT1.12009

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(/)与全国半导体设备和材料标准

SACTC203

化技术委员会材料分会(//)共同提出并归口。

SACTC203SC2

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本标准起草单位江苏协鑫硅材料科技发展有限公司北京合能阳光新能源技术有限公司中铝宁

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夏能源集团有限公司宁夏银星多晶硅有限责任公司洛阳鸿泰半导体有限公司新特能源股份有限

公司。

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