T/SCASH 0010-2026 半导体设备用静电吸盘温度均匀性测试方法
T/SCASH 0010-2026 Test method for temperature uniformity of electrostatic suction cups used in semiconductor equipment
团体标准
中文(简体)
即将实施
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/SCASH 0010-2026
标准类型
团体标准
标准状态
即将实施
发布日期
2026-09-19
实施日期
2026-10-17
发布单位/组织
-
归口单位
上海硅酸盐工业协会
适用范围
本文件适用于半导体制造领域中静电吸盘在真空环境下的温度均匀性测试。
本文件规定了半导体设备用静电吸盘真空条件下温度均匀性的测试原理、仪器设备、样品、测试方法、精密度
发布历史
-
2026年09月
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研制信息
- 起草单位：
- 宁夏北瓷新材料科技有限公司、苏州耀德半导体有限公司、中国科学院上海硅酸盐研究所、成都旭瓷新材料有限公司、中材高新氮化物陶瓷有限公司、成都旭光电子股份有限公司、天津大学、沈阳星光技术陶瓷有限公司、钛亚特(宁夏)新材料科技有限公司、宁夏北伏科技有限公司
- 起草人：
- 田印国、黄海燕、赖学明、陈鹤拓、成罗、宋阳、周国红、王再义、隋天一、郝岩、李镔、王明清、陈军平
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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