T/SCASH 0012-2026 半导体用 J-R 型氮化硅静电吸盘
T/SCASH 0012-2026 J-R Type Silicon Nitride Electrostatic Chuck for semiconductor technology
团体标准
中文(简体)
即将实施
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/SCASH 0012-2026
标准类型
团体标准
标准状态
即将实施
发布日期
2026-09-19
实施日期
2026-10-19
发布单位/组织
-
归口单位
上海硅酸盐工业协会
适用范围
本文件适用于以高纯氮化硅原粉为原料，应用于半导体行业的J-R型氮化硅陶瓷静电吸盘。
本文件规定了半导体行业J-R型氮化硅静电吸盘的技术要求、试验方法、检验规则
发布历史
-
2026年09月
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研制信息
- 起草单位：
- 中材高新氮化物陶瓷有限公司、中国科学院上海硅酸盐研究所、北京北方华创微电子装备有限公司、天津大学、宁夏北瓷新材料科技有限公司、苏州耀德半导体有限公司、沈阳星光技术陶瓷有限公司
- 起草人：
- 孙峰、李镔、王再义、张辉、齐会龙、王俊、隋天一、黄海燕、赖学明、尚超峰、王路、郝岩、任云
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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