T/CHBAS 17-2022 靶材用超高纯钨板

范围:本文件规定了靶材用超高纯钨板的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。 本文件适用于靶材用超高纯钨板的制造、检验（试验）和验收; 主要技术内容:靶材用超高纯钨板的化学成分靶材用超高纯钨板的尺寸及允许偏差应符合供需双方签订的技术图纸要求，未注公差的产品，应符合GB/T 1804-2000第5章表1、表2、表3中f（精密度）偏差的要求。靶材用超高纯钨板的晶粒尺寸应符合表2的要求，并且晶粒大小分布均匀。靶材用超高纯钨板内部不应有分层、开裂、气孔等缺陷。靶材用超高纯钨板的密度应大于19.15g/cm3，同批次钨板密度波动范围不大于0.3g/cm3。靶材用超高纯钨板表面不准许有过熔、鼓泡、分层、裂纹、嵌入物等缺陷。靶材用超高纯钨板的表面粗糙度Ra应不大于1.6μ m，有特殊要求的由供需双方协商确定