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T/ICMTIA pc008-2021 集成电路用硝酸

T/ICMTIA pc008-2021 Nitric acid for integrated circuits

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/ICMTIA pc008-2021
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
L56 半导体集成电路
国际标准分类号（ICS）
29.045 半导体材料
发布日期
2021-05-31
实施日期
2021-07-30
发布单位/组织
-
归口单位
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
适用范围
主要技术内容:本文件规定了集成电路用硝酸的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存。本文件适用于集成电路制造过程中使用的硝酸。分子式：HNO3相对分子质量：63.01（按 2014 年国际相对原子质量）

发布历史

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研制信息

起草单位：
中巨芯科技有限公司
起草人：
陈刚、周黎旸、童继红、张学良、贺辉龙、赵晓亚、程文海、朱智敏、蒋梁疏、杨建成、徐建仙
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

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