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YS/T 1031-2025 化学气相沉积炉

YS/T 1031-2025 Chemical vapor deposition furnace

行业标准-有色金属 简体中文 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
YS/T 1031-2025
标准类型
行业标准-有色金属
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H91 炼焦、烧结设备
国际标准分类号（ICS）
77.180 冶金设备
发布日期
2025-08-19
实施日期
2026-03-01
发布单位/组织
工业和信息化部
归口单位
-
适用范围
本文件规定了化学气相沉积炉的结构型式与组成、技术要求、试验方法、检验规则和技术分级、标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。本文件适用于制备金属及金属合金材料、金属复合材料、碳及碳化硅材料、无机材料等的化学气相沉积炉

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