YS/T 1031-2015 化学气相沉积炉
YS/T 1031-2015 Chemical vapor deposition furnace
行业标准-有色金属
中文简体
现行
页数：9页
|
格式：PDF
基本信息
标准类型
行业标准-有色金属
标准状态
现行
发布日期
2015-04-30
实施日期
2015-10-01
发布单位/组织
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
适用范围
本标准规定了化学气相沉积炉的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同(或订货单)内容。
本标准适用于化学气相沉积。
本标准适用于化学气相沉积。
发布历史
-
2015年04月
研制信息
- 起草单位：
- 湖南顶立科技有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所
- 起草人：
- 戴煜、胡祥龙、胡高健、羊建高、马卫东、戴晓蕾、周岳兵、吴艳华
- 出版信息：
- 页数：9页 | 字数：14 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS77.180
H91
中华人民共和国有色金属行业标准
/—
YST10312015
化学气相沉积炉
Chemicalvaordeositionfurnace
pp
2015-04-30发布2015-10-01实施
中华人民共和国工业和信息化部发布
/—
YST10312015
前言
本标准按照/—给出的规则起草。
GBT1.12009
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(/)提出并归口。
SACTC243
:、。
本标准起草单位湖南顶立科技有限公司中国有色金属工业标准计量质量研究所
:、、、、、、、。
本标准主要起草人戴煜胡祥龙胡高健羊建高马卫东戴晓蕾周岳兵吴艳华
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