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YS/T 1031-2015 化学气相沉积炉

YS/T 1031-2015 Chemical vapor deposition furnace

行业标准-有色金属 中文简体 现行 页数：9页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
YS/T 1031-2015
标准类型
行业标准-有色金属
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H91 炼焦、烧结设备
国际标准分类号（ICS）
77.180 冶金设备
发布日期
2015-04-30
实施日期
2015-10-01
发布单位/组织
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
适用范围
本标准规定了化学气相沉积炉的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同(或订货单)内容。
本标准适用于化学气相沉积。

发布历史

文前页预览

YS/T 1031-2015 化学气相沉积炉-第1页
YS/T 1031-2015 化学气相沉积炉-第2页
YS/T 1031-2015 化学气相沉积炉-第3页

研制信息

起草单位：
湖南顶立科技有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所
起草人：
戴煜、胡祥龙、胡高健、羊建高、马卫东、戴晓蕾、周岳兵、吴艳华
出版信息：
页数：9页 | 字数：14 千字 | 开本： 大16开

内容描述

ICS77.180

H91

中华人民共和国有色金属行业标准

/—

YST10312015

化学气相沉积炉

Chemicalvaordeositionfurnace

pp

2015-04-30发布2015-10-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

/—

YST10312015

前言

本标准按照/—给出的规则起草。

GBT1.12009

本标准由全国有色金属标准化技术委员会(/)提出并归口。

SACTC243

:、。

本标准起草单位湖南顶立科技有限公司中国有色金属工业标准计量质量研究所

:、、、、、、、。

本标准主要起草人戴煜胡祥龙胡高健羊建高马卫东戴晓蕾周岳兵吴艳华

定制服务

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    GB/T 3163-2007
    GB/T 3163-2007 真空技术 术语
    被代替
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    GB/T 10066.4-2004
    GB/T 10066.4-2004 电热设备的试验方法 第4部分：间接电阻炉
    现行
    GB/T 10067.1-2005
    GB/T 10067.1-2005 电热装置基本技术条件 第1部分：通用部分
    被代替
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    GB/T 10067.4-2005 电热装置基本技术条件 第4部分：间接电阻炉
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    GB/T 5959.1-2019 电热和电磁处理装置的安全 第1部分：通用要求
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    JB/T 10550-2006 真空技术 真空烧结炉
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