GB/Z 32490-2016 表面化学分析 X射线光电子能谱 确定本底的程序

ICS71.040.40

G04

中华人民共和国国家标准化指导性技术文件

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GBZ324902016ISOTR183922005

表面化学分析X射线光电子能谱

确定本底的程序

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SurfacechemicalanalsisX-rahotoelectronsectrosco

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Proceduresfordetermininbackrounds

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ISOTR183922005IDT

2016-02-24发布2017-01-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

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GBZ324902016ISOTR183922005

目次

前言…………………………Ⅲ

引言…………………………Ⅳ

1范围………………………1

2术语和定义………………1

3缩略语……………………1

4XPS中本底的类型………………………1

电子能谱图中射线卫星峰的扣除……………………

5X1

6电子能谱图中非弹性电子散射的估算与扣除…………2

6.1概述…………………2

6.2解析非弹性电子散射的程序………………………2

6.3解析非弹性和弹性散射的程序……………………4

6.4不常用的程序………………………4

6.5表面和内壳层空穴效应在确定本底中的作用……………………4

6.6确定非均匀材料的本底……………4

7扣除电子能谱中非弹性散射效应的方法比较…………5

参考文献………………………6

Ⅰ

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前言

本指导性技术