T/CEATEC 294-2026 半导体制造用高纯碳化硅陶瓷吸盘技术规范
T/CEATEC 294-2026 Technical specifications for high-purity silicon carbide ceramic chucks in semiconductor manufacturing
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/CEATEC 294-2026
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2026-09-22
实施日期
2026-09-22
发布单位/组织
-
归口单位
中国欧洲经济技术合作协会
适用范围
-
发布历史
-
2026年09月
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研制信息
- 起草单位：
- 中国科学院宁波材料技术与工程研究所、无锡卓瓷科技有限公司、浙江盛和精瓷新材料科技有限公司、长春长光精瓷复合材料有限公司、兰溪泛翌精细陶瓷有限公司、潮州三环(集团)股份有限公司
- 起草人：
- 裴兵兵、高赛魁、赵喜明、周立勋、李华坚、郑镇宏、吴海波、王彩俊、付丽华、曹琪、陆稳、吴西士、张玉强、刘泽华、张天峰
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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