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T/CNIA 0060-2020 多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定 气相色谱法

T/CNIA 0060-2020 The determination of phosphorous hydride content in hydrogen used for polycrystalline silicon by gas chromatography

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/CNIA 0060-2020
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
G11 无机酸、碱
国际标准分类号（ICS）
77.040.01 金属材料试验综合
发布日期
2020-05-27
实施日期
2020-08-01
发布单位/组织
-
归口单位
中国有色金属工业协会
适用范围
主要技术内容:本标准规定了多晶硅用氢气中磷化氢含量的气相色谱测定方法。本标准适用于多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定，测定范围为0.02×10-9～1×10-5(v/v)

发布历史

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研制信息

起草单位：
宜昌南玻硅材料有限公司、内蒙古神舟硅业有限责任公司
起草人：
刘文明、孟凡江、田洪先、高明、刘强、黄宗武、赵英、姜海明
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

暂无内容

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