T/CNIA 0060-2020 多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定 气相色谱法
T/CNIA 0060-2020 The determination of phosphorous hydride content in hydrogen used for polycrystalline silicon by gas chromatography
团体标准
中文(简体)
现行
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|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/CNIA 0060-2020
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2020-05-27
实施日期
2020-08-01
发布单位/组织
-
归口单位
中国有色金属工业协会
适用范围
主要技术内容:本标准规定了多晶硅用氢气中磷化氢含量的气相色谱测定方法。本标准适用于多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定，测定范围为0.02×10-9～1×10-5(v/v)
发布历史
-
2020年05月
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研制信息
- 起草单位：
- 宜昌南玻硅材料有限公司、内蒙古神舟硅业有限责任公司
- 起草人：
- 刘文明、孟凡江、田洪先、高明、刘强、黄宗武、赵英、姜海明
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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