DB34/ 4294-2022 半导体行业水污染物排放标准

ICS13.060.30

CCSZ60

34

安徽省地方标准

DB34/4294—2022

半导体行业水污染物排放标准

Dischargestandardofwaterpollutantsforsemiconductorindustry

2022-10-14发布2023-01-01实施

安徽省生态环境厅

发布

安徽省市场监督管理局

DB34/4294—2022

目次

前言.................................................................................II

1范围...............................................................................1

2规范性引用文件.....................................................................1

3术语和定义.........................................................................2

4水污染物排放控制要求...............................................................3

5水污染物监测要求...................................................................5

监测一般要求...................................................................5

监测要求.......................................................................5

6达标判定...........................................................................7

7实施与监督.........................................................................8

I

DB34/4294—2022

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由安徽省生态环境厅提出并归口。

本文件起草单位：安徽省生态环境科学研究院、安徽建筑大学、合肥市环境保护科学研究所、合肥

工业大学。

本文件主要起草人：孙雷、王晓辉、黄健、蒋世友、刘亚风、岳正波、何祥亮、刘慧、张斌、程堃、

张华、奚姗姗。

本文件由安徽省人民政府2022年8月22日批准。

II

DB34/4294—2022

半导体行业水污染物排放标准

1范围

本文件规定了半导体企业的水污染物排放标准限值、监测要求、达标判定、实施与监督。

本文件适用于半导体企业的水污染物排放管理、排污许可管理、建设项目环境影响评价、建设项目

环境保护设施设计、建设项目竣工环境保护验收及其投产后的污染控制与管理。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T7466水质总铬的测定

GB/T7467水质六价铬的测定二苯碳酰二肼分光光度法

GB/T7470水质铅的测定双硫腙分光光度法

GB/T7471水质镉的测定双硫腙分光光度法

GB/T7475水质铜、锌、铅、镉的测定原子吸收分光光度法

GB/T7484水质氟化物的测定离子选择电极法

GB/T7485水质总砷的测定二乙基二硫代氨基甲酸银分光光度法

GB/T7494水质阴离子表面活性剂的测定亚甲蓝分光光度法

GB/T11893水质总磷的测定钼酸铵分光光度法

GB/T11901水质悬浮物的测定重量法

GB/T11907水质银的测定火焰原子吸收分光光度法

GB/T11910水质镍的测定丁二酮肟分光光度法

GB/T11912水质镍的测定火焰原子吸收分光光度法

HJ/T60水质硫化物的测定碘量法

-----3-2-2-

HJ84水质无机阴离子(F、Cl、NO2、Br、NO3、PO4、SO3、SO4)的测定离子色谱法

HJ91.1污水监测技术规范

HJ/T195水质氨氮的测定气相分子吸收光谱法

HJ/T199水质总氮的测定气相分子吸收光谱法

HJ/T200水质硫化物的测定气相分子吸收光谱法

HJ/T399水质化学需氧量的测定快速消解分光光度法

HJ484水质氰化物的测定容量法和分光光度法

HJ485水质铜的测定二乙基二硫代氨基甲酸钠分光光度法

HJ486水质铜的测定2,9-二甲基-1,10-菲啰啉分光光度法

HJ487水质氟化物的测定茜素磺酸锆目视比色法

HJ488水质氟化物的测定氟试剂分光光度法

-

HJ489水质银的测定3,5-Br2PADAP分光光度法

HJ490水质银的测定镉试剂2B分光光度法

HJ493水质样品的保存和管理技术规定

1

DB34/4294—2022

HJ494水质采样技术指导

HJ495水质采样方案设计技术指导

HJ501水质总有机碳的测定燃烧氧化-非分散红外吸收法

HJ535水质氨氮的测定纳氏试剂分光光度法

HJ536水质氨氮的测定水杨酸分光光度法

HJ537水质氨氮的测定蒸馏-中和滴定法

HJ636水质总氮的测定碱性过硫酸钾消解紫外分光光度法

HJ637水质石油类和动植物油类的测定红外分光光度法

HJ659水质氰化物等的测定真空检测管-电子比色法

HJ667水质总氮的测定连续流动-盐酸萘乙二胺分光光度法

HJ668水质总氮的测定流动注射-盐酸萘乙二胺分光光度法

HJ670水质磷酸盐和总磷的测定连续流动-钼酸铵分光光度法

HJ671水质总磷的测定流动注射-钼酸铵分光光度法

HJ694水质汞、砷、硒、铋和锑的测定原子荧光法

HJ700水质65种元素的测定电感耦合等离子体质谱法

HJ776水质32种元素的测定电感耦合等离子体发射光谱法

HJ828水质化学需氧量的测定重铬酸盐法

HJ908水质六价铬的测定流动注射-二苯碳酰二肼光度法

HJ970水质石油类的测定紫外分光光度法（试行）

HJ1069水质急性毒性的测定斑马鱼卵法

HJ1147水质pH值的测定电极法

HJ1226水质硫化物的测定亚甲基蓝分光光度法

《污染源自动监控管理办法》（2005年9月19日国家环境保护总局令第28号）

《环境监测管理办法》（2007年7月25日国家环境保护总局令第39号）

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

半导体企业semiconductorindustry

从事半导体分立器件或集成电路的制造、封装测试的企业。

现有企业existingfacility

本文件实施之日前已建成投产或环境影响评价文件已通过审批的半导体企业。

新建企业newfacility

本文件实施之日起环境影响评价文件通过审批的新建、改建和扩建的半导体工业建设项目。

直接排放directdischarge

排污单位直接向环境水体排放水污染物的行为。

间接排放indirectdischarge

排污单位向污水集中处理设施排放水污染物的行为。

2

DB34/4294—2022

特别排放限值specialdischargelimitvalues

根据生态环境保护工作的要求，在国土开发密度已经较高、环境承载能力开始减弱，或环境容量较

小、生态环境脆弱，容易发生严重环境污染问题而需要采取特别保护措施的地区，为严格控制企业的污

染物排放行为而制定的水污染物排放限值。

污水集中处理设施concentratedwastewatertreatmentfacilities

为两家及两家以上排污单位提供污水处理服务的污水处理设施，包括各种规模和类型的城镇污水集

中处理设施、工业集聚区（经济技术开发区、高新技术产业开发区、出口加工区等各类工业园区）污水

集中处理设施，以及其他由两家及两家以上排污单位共用的污水处理设施。

排水量effluentvolume

企业或生产设施排放到企业法定边界外的废水量，包括与生产有直接或间接关系的各种外排废水

（含厂区生活污水、冷却废水、锅炉和电站废水等）。

单位产品基准排水量benchmarkeffluentvolumeperunitproduct

用于核定水污染物排放浓度而规定的生产单位产品的污水排放量上限值。

稀释倍数dilutionlevel

原水样占稀释后水样总体积分数的倒数，一般用D来表示。例如，水样未稀释，则稀释倍数D=1；

取250ml水样稀释至1000ml（即体积分数为25％），则稀释倍数D=4。

最低无效应稀释倍数lowestineffectivedilution

测试中不产生测试效应的最低稀释倍数，本文件指不少于90％的斑马鱼卵存活时水样的最低稀释

倍数，用LID表示。

4水污染物排放控制要求

水污染物排放限值见表1和表2。

表1第一类水污染物排放限值

单位：mg/L

序号污染物项目排放限值