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YS/T 1124-2016 磁性溅射靶材透磁率测试方法

YS/T 1124-2016 Testing method on pass through flux of magnetic sputtering target

行业标准-有色金属 中文简体 现行 页数：5页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
YS/T 1124-2016
标准类型
行业标准-有色金属
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H21 金属物理性能试验方法
国际标准分类号（ICS）
77.120.99 其他有色金属及其合金
发布日期
2016-07-11
实施日期
2017-01-01
发布单位/组织
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
适用范围
本标准规定了磁控溅射用磁性靶材透磁率的术语和定义、检测设备、检验过程及结果计算等内容。
本标准适用于溅射薄膜用各类磁性靶材透磁率的检验。

发布历史

文前页预览

YS/T 1124-2016 磁性溅射靶材透磁率测试方法-第1页
YS/T 1124-2016 磁性溅射靶材透磁率测试方法-第2页
YS/T 1124-2016 磁性溅射靶材透磁率测试方法-第3页

研制信息

起草单位：
有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院
起草人：
罗俊锋、万小勇、向磊、丁照崇、李勇军、何金江、徐国进、夏乾坤、刘晓、王越
出版信息：
页数：5页 | 字数：6 千字 | 开本： 大16开

内容描述

ICS77.120.99

H21

中华人民共和国有色金属行业标准

—

YST11242016

磁性溅射靶材透磁率测试方法

Testinmethodonassthrouhfluxofmaneticsutterintaret

gpggpgg

2016-07-11发布2017-01-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

—

YST11242016

前言

本标准按照/—给出的规则起草。

GBT1.12009

本标准由全国有色金属标准化技术委员会(/)提出并归口。

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