YS/T 1124-2016 磁性溅射靶材透磁率测试方法

YS/T 1124-2016 Testing method on pass through flux of magnetic sputtering target

行业标准-有色金属中文简体现行页数：5页 | 格式：PDF

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基本信息

标准号

YS/T 1124-2016

标准类型

行业标准-有色金属

标准状态

现行

中国标准分类号（CCS）

H21 金属物理性能试验方法

国际标准分类号（ICS）

77.120.99 其他有色金属及其合金

发布日期

2016-07-11

实施日期

2017-01-01

发布单位/组织

中华人民共和国工业和信息化部

归口单位

全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)

适用范围

本标准规定了磁控溅射用磁性靶材透磁率的术语和定义、检测设备、检验过程及结果计算等内容。
本标准适用于溅射薄膜用各类磁性靶材透磁率的检验。

发布历史

2016年07月

YS/T 1124-2016　磁性溅射靶材透磁率测试方法

当前标准现行 2016-07-11

文前页预览

研制信息

起草单位：: 有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院

起草人：: 罗俊锋、万小勇、向磊、丁照崇、李勇军、何金江、徐国进、夏乾坤、刘晓、王越

出版信息：: 页数：5页 | 字数：6 千字 | 开本：大16开

内容描述

ICS77.120.99

H21

中华人民共和国有色金属行业标准

—

YST11242016

磁性溅射靶材透磁率测试方法

Testinmethodonassthrouhfluxofmaneticsutterintaret

gpggpgg

2016-07-11发布2017-01-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

—

YST11242016

前言

本标准按照/—给出的规则起草。

GBT1.12009

本标准由全国有色金属标准化技术委员会(/)提出并归口。

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