GB/T 16594-1996 微米级长度的扫描电镜测量方法

ICs17.040.01

N33噶8

中华人民共和国国家标准

GB/T16594一1996

微米级长度的扫描电镜测量方法

MicrongradelenghtmeasurementbySEM

1996一11一04发布1997一04一01实施

国家技术监督局发布

Gs/T16594一1996

前言

本标准是一个测量方法标准，其量值可以溯源到长度基准。

本标准主要用于测量微小颗粒的直径、薄层厚度、线条宽度、线条距离、线维直径、刀刃的曲率半径

本标准可与JJG550-88扫描电子显微镜检定规程并列使用。

本标准由全国微束分析标准化技术委员会提出并归口。

本标准起草单位:上海市测试技术研究所、中国船舶总公司725研究所。

本标准主要起草人:张训彪、徐国照、高文华。

中华人民共和国国家标准

微米级长度的扫描电镜测量方法Ga/T16594一1996

MicrongradelenghtmeasurementbySEM

1范围

本标准规定了用扫描电镜测量微米级长度的方法，适用于测量。.5^-10Km的长度，也适用于电子

探针分析仪测量微米级长度。

2引用标准

下列标准包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。在标准出版时，所示版本均为

有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。

JJG550-88扫描电子显微镜检定规程

基本原理

这是一种比较测量方法。其基本原理是:先用扫描电镜获得待测样品和微米级标尺(以下简称标

尺)的二次电子像，然后用比长仪测量出底片上标尺图像的分度长度(A)和样品图像中待测的两个特征

点之间的长度B〔)。样品中待测的实际长度(L)按式((1)计算。