T/ZZB 0093-2016 集成电路用高纯钛溅射靶材

T/ZZB 0093-2016 High-purity titanium sputtering target for integrated circuits

团体标准 中文(简体) 现行 页数:0页 | 格式:PDF

基本信息

标准号
T/ZZB 0093-2016
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号(CCS)
国际标准分类号(ICS)
发布日期
2016-09-10
实施日期
-
发布单位/组织
-
归口单位
浙江省品牌建设联合会
适用范围
主要技术内容:本标准规定了集成电路用高纯钛溅射靶材的术语、定义、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量承诺和服务保证。本标准适用于集成电路中制造电子薄膜用的各类钛溅射靶材

发布历史

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研制信息

起草单位:
本标准由浙江省标准化研究院牵头组织制订。 本标准主要起草单位:宁波江丰电子材料股份有限公司。 本标准参与起草单位:宁波创润新材料有限公司
起草人:
-
出版信息:
页数:- | 字数:- | 开本: -

内容描述

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