T/ZZB 0093-2016 集成电路用高纯钛溅射靶材
T/ZZB 0093-2016 High-purity titanium sputtering target for integrated circuits
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/ZZB 0093-2016
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2016-09-10
实施日期
-
发布单位/组织
-
归口单位
浙江省质量协会
适用范围
本标准规定了集成电路用高纯钛溅射靶材的术语、定义、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量承诺和服务保证。
本标准适用于集成电路中制造电子薄膜用的各类钛溅射靶材
发布历史
-
2016年09月
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研制信息
- 起草单位：
- 本标准由浙江省标准化研究院牵头组织制订。 本标准主要起草单位：宁波江丰电子材料股份有限公司。 本标准参与起草单位：宁波创润新材料有限公司
- 起草人：
- -
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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